英特格ENTEGRIS过滤器，SVTG02TQ1

萨瓦那®

在

筒式过滤器

全氟聚合物过滤

积极的化学物质

Savana®AT滤芯采用全氟聚合物设计

施工持续清除颗粒从大范围

酸，碱和其他加工化学品。理想的中，高流量应用，Savana滤筒过滤器提供低

拥有成本(COO)。

优化的过滤面积最大限度地减少了压降

该过滤器不影响增强颗粒去除

设计特点。含氟高分子材料

和设备结构使较低的可提取和其他

可能对加工过程有害的污染物，而

在清洁，耐用的过滤器中提供高保留性能

ENTEGRIS英特格过滤器，Savana® AT Filter，SVTG02TQ1自营现货

 Cost effective filtration for non-outgassing chemistries and solvents at moderate temperatures in applications where metal control is not critical.
APPLICATIONS
Savana AT Filter Applications
Aggressive acid and base, point-of-tool filtration
Bulk chemical delivery and wet etch and clean semiconductor applications
Purification life sciences applications
Bulk chemical flat panel display applications
Substrate - Ni-P plating and magnetic head - wet etch and clean data storage applications
LED applications