美国entegris英特格，Wafergard®GTL在线气体过滤器WGFG01DS0

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 WafergardGTL在线气体过滤器以高达60 slpm的流速可靠地从惰性气体中去除颗粒。

提供惰性气体的高效，低成本，使用点过滤
> 99.9999999％去除直径大于0.003µm的所有颗粒

产品规格

材料：膜：疏水性含氟聚合物PTFE

 支架，外壳：聚砜

推荐流速：60 slpm

连接方式：Rc1⁄4（PT1⁄4母头），1⁄4” NPT母头

膜面积：25厘米2（3.9英寸2）

颗粒保留：> 99.9999999％的直径大于0.003μm的所有颗粒的去除率（在具穿透性的粒径条件下验证）

运行条件：大工作压力：20°C时为0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid）

 大前进压差：20°C时为0.41 MPa（4.1 bar，56.6 psid）

 大反向差压：20°C时为0.03 MPa（0.3 bar，4.35 psid）

 高工作温度：50°C（122°F）

尺寸图直径：25毫米（0.98英寸）

 长度：101毫米（4.0英寸）