美国ENTEGRIS应特格气体过滤器，WG2F02RR4，现货

美国ENTEGRIS应特格气体过滤器，WG2F02RR4，现货

美国ENTEGRIS英特格在线气体过滤器WG2F02RR4，现货 

 Wafergard II F Mini XL 在线气体过滤器

在气体面板、气体柜和晶圆加工需要超纯气体的任何地方进行卓越的颗粒过滤。

紧凑的装置减少了气箱的整体占地面积，节省了宝贵的设备空间
PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量
低压降降低了低蒸气压气体冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
 应用
Wafergard II F Mini XL 在线气体过滤器应用
臭氧应用（气体）
煤气柜
超纯气体系统
阀组箱
气体面板
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 316L 不锈钢
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3) >0.01µm
挥发物 <10 ppb 水分
移除等级 0.0015 微米  
表面处理内部 ≤10 µin Ra  
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10 atm/cc-sec
经过测试 1 × 10 -9 atm/cc-sec
浓度分辨率 ±0.015 ppm
运行条件 最大入口压力： 20.7 兆帕（207 巴；3000 磅/平方英寸）@ 23°C (73°F)
最大正向压差： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大压差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度： 120°C (248°F)
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 在 100 slpm 下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据  
 零件号
Wafergard II F Mini XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG2F02JJ2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F02PS1 1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容）外螺纹入口/出口 115.5 毫米（4.55 英寸）
WG2F02RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 127.0 毫米（5.00 英寸）
WG2F02RR4 1/2" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 133.4 毫米（5.25 英寸）
WG2F32PS1 3/8" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容）外螺纹入口/出口 119.3 毫米（4.70 英寸）
  

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 过滤器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 过滤器

Entegris WG2FT1RR2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WG2FT1SS2 过滤器

Entegris WG2FT1RR2 过滤器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器

ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WGMXMBRR4 过滤器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 过滤器

Entegris WG2FT1RR2 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WG2FT1SS2 过滤器

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ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器

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ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器

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