Wafergard
MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
美国ENTEGRIS英特格过滤器，WGPMOGGT2现货，可当天发货
美国ENTEGRIS英特格过滤器，WGPMOGGT2现货，可当天发货
美国ENTEGRIS英特格过滤器，WGPMOGGT2现货，可当天发货
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 µm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1⁄4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1⁄4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1⁄2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1⁄2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISXX67000WH过滤器
ENTEGRISWGGB01KAN气体过滤器
ENTEGRISWGFG01KL0过滤器
EntegrisWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISYY260103P滤壳
ENTEGRISPN2H010E1滤芯
EntegrisWGMXMBRR4过滤器
EntegrisWGFG02PR1过滤器
EntegrisWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀
ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器
EntegrisWGPM0GGT4过滤器
EntegrisWG2SS8RR2过滤器
EntegrisWG3NS6RR2过滤器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3阀
ENTEGRISYY260103P滤壳
ENTEGRISPN2H010E1滤芯
ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器
ENTEGRISXX67000WH过滤器
ENTEGRISWGGB01KAN过滤器
ENTEGRISWGFG01KL0过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3侦测器
EntegrisWG2SS8RR2过滤器
EntegrisWG3NS6RR2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISYY260103N过滤器
EntegrisCR4-2C-6F-3气动阀
ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十个）滤芯
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW滤芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331气动阀
ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器
EntegrisCWFV0S1S3滤芯
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISCN2501E6滤芯
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWGPM0GGG2过滤器
entegrisWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWG2SS8RR2过滤器
ENTEGRISCN2501E6滤芯
EntegrisSVTH01TQ1过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISCN2501E06滤芯
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFG50PR1过滤器
ENTEGRISWGFG01DSH过滤器
ENTEGRISPLMV-K12阀
ENTEGRISPLMV-K04阀
ENTEGRISPLMV-K16阀
ENTEGRISPLPV-K04阀
ENTEGRISPLPV-K08阀
ENTEGRISPLPV-K12阀
ENTEGRISPLPV-K16阀
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3气动阀
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
EntegrisYY5032PS1过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
entegrisWGFGT1PR1过滤器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFG01DS0过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2过滤器
