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        类别:美国ENTEGRIS应特格

      • 型号:美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货

      • 价格:¥3000.00

      • 发布时间:2024-5-22 10:37:14

      • 简介: 美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货

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      美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货

       

      这些气体过滤器推荐用于惰性和反应性气体,与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性,并且易于安装在狭窄的气体面板和柜中。 

      PTFE 膜提供高效过滤
      低压降降低了较低蒸气压气体的冷凝风险
      与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
      适用于惰性气体和反应性气体,包括臭氧

       

      应用领域
      Wafergard® II F 微型在线气体过滤器应用
      生命科学应用
      臭氧应用(气体)
      煤气柜和面板
      超纯气体系统
      内部处理工具

       

      材料
           滤芯
           由模制 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
      住房    电解抛光 VAR 316L 不锈钢
      下游清洁度     小于 0.03 颗粒/升(<1 颗粒/ft 3)大于 0.01 µm 
      挥发物    <10 ppb 水分
      去除等级    ≥0.0015微米    
      内部表面处理    ≤7 µin Ra    
      氦气泄漏等级    合格的    2×10 -10立方厘米/秒
      已测试    1×10 -9立方厘米/秒
      运行条件    最大入口压力    207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F)
      最大前向压差    4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
       
      最大反向压差    0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
       
      最高工作温度    120°C (248°F)
      颗粒保留
           在 30 slpm 下去除所有颗粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)(以最具穿透力的颗粒尺寸为准)
      流量等级    参考性能数据

      美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货

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