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类别:美国ENTEGRIS应特格
型号:美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货
价格:¥3000.00
发布时间:2024-4-29 10:35:17
简介: 美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货
美国Entegris 应特格 WG2FT1RR2 过滤器现货
这些气体过滤器推荐用于惰性和反应性气体,与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性,并且易于安装在狭窄的气体面板和柜中。
PTFE 膜提供高效过滤 低压降降低了较低蒸气压气体的冷凝风险 与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性 适用于惰性气体和反应性气体,包括臭氧
应用领域 Wafergard® II F 微型在线气体过滤器应用 生命科学应用 臭氧应用(气体) 煤气柜和面板 超纯气体系统 内部处理工具
材料 滤芯 由模制 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜 住房 电解抛光 VAR 316L 不锈钢 下游清洁度 小于 0.03 颗粒/升(<1 颗粒/ft 3)大于 0.01 µm 挥发物 <10 ppb 水分 去除等级 ≥0.0015微米 内部表面处理 ≤7 µin Ra 氦气泄漏等级 合格的 2×10 -10立方厘米/秒 已测试 1×10 -9立方厘米/秒 运行条件 最大入口压力 207 巴 (3000 psig) @ 23°C (73°F) 最大前向压差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F) 最大反向压差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F) 最高工作温度 120°C (248°F) 颗粒保留 在 30 slpm 下去除所有颗粒的率大于 99.9999999% (9 LRV)(以最具穿透力的颗粒尺寸为准) 流量等级 参考性能数据
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