英特格Wafergard® II F 微型在线气体过滤器WG2FT1RR2现货
英特格Wafergard® II F 微型在线气体过滤器WG2FT1RR2现货
英特格Wafergard® II F 微型在线气体过滤器WG2FT1RR2现货
这些气体过滤器推荐用于惰性气体和反应性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了在较低蒸气压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
应用
Wafergard
II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
气柜和面板
超纯气体系统
内部流程工具
产品规格
材料
滤芯
由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分
移除等级 ≥0.0015 µm
表面处理内部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
经过测试 1 × 10 -9毫升/秒
运行条件 最大入口压力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向压差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向压差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留
大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据
零件号
Wafergard II F 微型在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 应用
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半导体
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
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ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
美国Entegris英特格,过滤器，滤芯，WGPMOGGT4，现货
美国Entegris英特格,过滤器，滤芯，WGPMOGGT4，现货
美国Entegris英特格,过滤器，滤芯，WGPMOGGT4，现货
Gasketgard® 在线垫片过滤器，WGPM0GGT4，WGPMOGGT4现货特价
Gasketgard 在线垫片过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可替代标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫片。
保持器便于对齐
专为轻松插入标准气体管线而设计
高压和高温应用的理想选择
保护关键部件免受颗粒损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
适用于高达 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 大于 0.3 µm 直径的所有颗粒去除率超过 95%
运行条件： 最大压差 1⁄4” P1：5.1 MPa（51 bar，740 psid）
1⁄4” P2：10.4 MPa（104 bar，1508 psid）
1⁄2” P1：1.7 MPa（17 bar，247 psid）
1⁄2” P2 ：2.9 兆帕（29 巴，421 磅/平方英寸）
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98"）
WGPM0GGT2 1/4" 型带固定器 25.25 毫米（0.99"）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带固定器 29.50 毫米（1.16"）
