美国 Entegris 英特格 WG3NS8RR2 直通式气体过滤器Micro XL

为超纯气体系统过滤提供卓越的颗粒过滤效果，是高温和动态压力应用的理想选择。

最先进的外壳组件通过最小化焊接面积消除了排气
全金属结构非常适合高温和动压应用
紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提供终极的设计效率并最大限度地降低工程成本

材料    滤芯    烧结镍膜过滤器
     住房    电解抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度    粒子    <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/ft 3 ) >0.01 μm    
     挥发物    H 2 O、O 2和 THC 的挥发性脱气低于可检测限值（在室温下通过 RGA 和 FID）
去除等级    ≥0.0015微米
表面处理内部    ≤5μin Ra
氦气泄漏等级    合格的    2 × 10 -10 atm-cc/秒。
     已测试    1 × 10 -9 atm-cc/秒。
最大操作条件：    最大入口压力    20°C (68°F) 时为 20 MPa（200 bar，2900 psid）
     设计压力    20°C (68°F) 时为 20 MPa（200 bar，2900 psid）
     最大正向/反向压差    1 兆帕（10 巴，150 磅/平方英寸）
     最高工作温度    惰性气体    400°C (725°F) @ 35 巴 (500 psi)
          腐蚀性和反应性气体    50°C (122°F) @ 70 巴 (1000 psi)
保修单    5年
颗粒保留    15 slpm 时所有颗粒的去除率超过 99.9999999% (9 LRV)
流量等级    参考性能数据