美国 Entegris 英特格 WG3NS6RR2 直通式气体过滤器Micro XL

为超纯气体系统过滤提供卓越的颗粒过滤。

全金属结构提供最清洁、最高效的全金属过滤器
获得专利的镍过滤膜具有卓越的耐腐蚀性和优异的化学兼容性
创新的外壳设计有助于消除排气并缩短干燥时间
高温和动态压力应用的理想选择
通常用于流量高达 30 slpm

材料    过滤膜    获得专利的烧结镍
住房    电解抛光 F20 不锈钢
下游清洁度    粒子*    <0.03 颗粒/升 (<1 颗粒/ft 3 ) >0.01 µm
挥发物**    H 2 O、O 2和 THC 的挥发性脱气低于可检测限值（在室温下通过 RGA 和 FID）
去除等级    ≥0.0015微米    
内部表面处理    ≤5μin Ra    
氦气泄漏率    合格的    2x10 -10  atm cc/秒
已测试    1x10 -9  atm cc/秒
最大操作条件    最大入口压力：    70 巴 (1000 psi) @ 100°C (212°F)
最大正向/反向压差：    10 巴（150 磅/平方英寸）
最高工作温度    惰性气体    35 巴 (500 psi) 时为 400°C (752°F)
腐蚀性和反应性气体    70 巴 (1000 psi) 时为 50°C (122°F)
保修单    5年    
颗粒保留    在 30 slpm 下，所有颗粒去除率超过 99.9999999% (9 LRV)
在 75 slpm 下，所有颗粒去除率超过 99.9999%（以最具穿透力的颗粒尺寸为准）
流量    参见流量曲线