·快速、可靠、稳定的特种气体探测，可探测40多种气体
·连续实时监控
·传感器更换便捷
·设备主机通用性强
·运行成本低
·维护成本低
·多种标准信号输出
·智能自诊断功能
可探测气体类型
SIH4/PH3/HF/NH3/HCL/BCL3/H2/ASH3/HCN/B2H6/CO/GeH4/H2S/NH3/O2/TMB/TMP/TEOS/CH2F2/O3...
应用范围：
·气瓶柜
·阀箱
·生产机台
·环境点
·气瓶储藏室
·原始制造商配套设备
配備電化學傳感單元的氣體探測
物質/傳感器 傳感器零件號碼 額定量程 備註
AsH3 砷化氫（3 電極） 9602-6001 0 ... 1.00 ppm
AsH3 砷化氫（2 電極） 9602-6000 0 ... 1.00 ppm 特殊應用
AsH3 砷化氫（2 電極） 9602-6002 0 ... 10.0 ppm 特殊應用
B2H6 乙硼烷 9602-6200 0 ... 1.00 ppm
Br2 溴氣 9602-6800 0 ... 5.00 ppm
Cl2 氯氣 9602-5300 0 ... 5.00 ppm
ClF3 三氟化氯 9602-7410 0 ... 1.00 ppm
ClO2 二氧化氯 9602-7400 0 ... 1.00 ppm
CO 一氧化碳 9602-5400 0 ... 500 ppm
COCl2 光氣 9602-6600 0 ... 1.00 ppm
F2 氟氣 9602-6400 0 ... 5.00 ppm
GeH4 鍺烷 9602-6900 0 ... 5.0 ppm
H2 氫氣 (1%) 9602-5100 0 ... 1.000 % vol.
H2 氫氣 (4%) 9602-5101 0 ... 4.00 % vol. 特殊量程
H2S 硫化氫 9602-5200 0 ... 100 ppm
H2S 硫化氫（有機） 9602-5201 0 ... 30.0 ppm 特殊應用
H2Se 硒化氫 9602-5600 0.00 ...5.00ppm
HBr 溴化氫 9602-7000 0 ... 30.0 ppm
HCl 氯化氫 9602-5800 0 ... 30.0 ppm
HCN 氰化氫 9602-5700 0 ... 30.0 ppm
HF 氟化氫 9602-6500 0 ... 10.0 ppm
HMDS 六甲基二矽氮烷 9602-6715 0 ... 0.500 % vol.
HMDS 六甲基二矽氮烷 9602-6714 0 ... 500 ppm
N2H4 聯氨 9602-7600 0 ... 1.00 ppm
NH3 氨氣 100ppm 9602-6704 0 ... 100 ppm 標準
NH3 氨氣 1000ppm 9602-6705 0 ... 1000 ppm 標準，更高量程
NO 一氧化氮 9602-7200 0 ... 250 ppm
NO2 二氧化氮 9602-7300 0 ... 25.0 ppm
O2 氧氣 9602-5500 0 ... 25.0 % vol.
O3 臭氧 9602-7100 0 ... 1.00 ppm
O3 臭氧 9602-7101 0 ... 1.00 ppm 排氣監控
PH3 磷化氫（2 電極） 9602-6100 0 ... 1.00 ppm 特殊應用
PH3 磷化氫（3 電極） 9602-6101 0 ... 1.00 ppm
SiH4 矽烷 9602-6300 0 ... 50.0 ppm
SO2 二氧化硫 9602-5900 0 ... 25.0 ppm
TEOS 正矽酸乙酯 9602-7500 0 ... 100 ppm
TMB 硼酸三甲酯 9602-7510 0 ... 200 ppm
TMP 亞磷酸三甲酯 9602-7800 0 ... 30.0 ppm
配備可燃氣體傳感器的氣體探測
物質/傳感器 傳感器零件號碼 額定量程 備註
CH4 甲烷 9602-9900 0 ... 100 LEL 僅限 Satellite C/標準
CH4 甲烷 9602-9901 0 ... 100 LEL 僅限 Satellite C
CH4 甲烷 9602-9902 0 ... 100 LEL Sat-Ex C 版本
CH4 甲烷 9602-9903 0 ... 100 LEL Sat-Ex C 版本
CH4 甲烷 9602-9905 0 ... 100 LEL Sat-Ex C 版本
熱裂解模塊 XT
配備電化學傳感單元的氣體探測
物質/傳感器 傳感器零件號碼 額定量程 備註
C4F6 六氟化四碳 9602-9732 0.....50.0 ppm
C5F8 八氟環戊烯 9602-9730 0 ... 20.0 ppm
CH3F 氟甲烷 9602-9720 0 ... 0.500 % vol.
DCE 1,2 二氟乙烯 9602-9600 0 ... 1000 ppm
NF3 三氟化氮 9602-9700 0 ... 50.0 ppm
SF6 六氟化硫 9602-9710 0 ... 0.500 % vol.
