GateKeeper GPU系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。

纯度至 ppt 水平
广泛的气体兼容性，包括腐蚀性气体如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
净化器压降低
CE认证符合压力设备指令PED，并在ISO 9001-2000设施中制造
可再生 – 消除处理问题和成本
长寿命 - 改进的拥有成本
使用环境温度净化  

OPERATING SPECIFICATIONS

—

Model

Maximum

flow rate

Lifetime is 1

year at this

flow rate,

with 1 ppm

moisture and

1 ppm oxygen

Maximum

operating

pressure –

purifier only

Maximum

operating

pressure –

purifier with

options

Pressure drop,

with 20 μm

particle filter*

Pressure

drop, with

0.0015 μm

particle filter*

GPU 200 20 slpm 1.4 slpm 800 psig 250 psig – 0.7 psid

GPU 300 50 slpm 2.1 slpm 800 psig 250 psig – 1.3 psid

GPU 500 75 slpm 4.3 slpm 600 psig 250 psig – 1.3 psid

GPU 700 120 slpm 6.0 slpm 600 psig 250 psig – 1.8 psid

GPU 2500 4R 300 slpm 22.5 slpm 505 psig 250 psig – 5.0 psid

GPU 2500 8R 500 slpm 22.5 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid

GPU 3000 500 slpm 26.3 slpm 505 psig 250 psig – 5.6 psid

GPU 5000 500 slpm 42.0 slpm 505 psig 250 psig – 7.0 psid

GPU 10M 8R 1,000 slpm 88.0 slpm 370 psig 250 psig – 5.8 psid

GPU 10M 12R 1,000 slpm 88.0 slpm 370 psig 250 psig – 8.0 psid

GPU 13M 12R 2,000 slpm 107.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –

GPU 13M 16R 2,500 slpm 107.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –

GPU 17M 12R 2,000 slpm 132.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid –

GPU 17M 16R 2,500 slpm 132.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid –

GPU 20M 12R 2,000 slpm 160.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid

GPU 20M 16R 2,500 slpm 160.0 slpm 370 psig 250 psig – 19.0 psid

*Purifier only at maximum flow rating with 90 psig inlet pressure

4

FACILITY SPECIFICATIONS

—

GPU model

Connection

size (VCR)

Inlet/outlet

connection type

(VCR)

Outside

diameter (OD)

Overall length

(OAL)

Approximate

weight

GPU 200 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 157 mm (6.2") 0.9 kg (2.0 lbs)

GPU 300 1/4" Male/male 50.8 mm (2.0") 208 mm (8.2") 1.1 kg (2.5 lbs)

GPU 500 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 201 mm (7.9") 1.8 kg (4.0 lbs)

GPU 700 1/4" Male/male 76.2 mm (3.0") 254 mm (10.0") 2.5 kg (5.5 lbs)

GPU 2500 4R 1/4" Male/male 101.6 mm (4.0") 439 mm (17.3") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 2500 8R 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 445 mm (17.5") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 3000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 508 mm (20.0") 7.3 kg (16 lbs)

GPU 5000 1/2" Male/male 101.6 mm (4.0") 785 mm (30.9") 10.0 kg (22 lbs)

GPU 10M 8R 1/2" Male/male 152.4 mm (6.0") 737 mm (29.0") 20 kg (44 lbs)

GPU 10M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 749 mm (29.5") 21.8 kg (48 lbs)

GPU 13M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 892 mm (35.1") 24.9 kg (55 lbs)

GPU 13M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 899 mm (35.4") 24.9 kg (55 lbs)

GPU 17M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1085 mm (42.7") 29.5 kg (65 lbs)

GPU 17M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1090 mm (42.9") 29.5 kg (65 lbs)

GPU 20M 12R 3/4" Male/male 152.4 mm (6.0") 1290 mm (50.8") 34 kg (75 lbs)

GPU 20M 16R 1" Male/male 152.4 mm (6.0") 1296 mm (51.0") 34 kg (75 lbs)

5

FACILITY SPECIFICATIONS, PURIFIERS WITH ISOLATION VALVES

—

GPU model

Connection

size (VCR)

Inlet/outlet

connection type

(VCR)

Outside

diameter (OD)

Overall length

(OAL) with valves

Approximate

weight with valves

GPU 200 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 307 mm (12.1") 1.7 kg (3.7 lbs)

GPU 300 1/4" Female/female 50.8 mm (2.0") 358 mm (14.1") 1.8 kg (3.8 lbs)

GPU 300 (GC 300) 1/4" Female/male 83.8 mm (3.3") 401.3 mm (15.8") 2.3 kg (5.1 lbs)

GPU 500 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 351 mm (13.8") 2.7 kg (6.0 lbs)

GPU 700 1/4" Female/female 76.2 mm (3.0") 404 mm (15.9") 4.4 kg (9.6 lbs)

GPU 2500 4R 1/4" Female/female 101.6 mm (4.0") 592 mm (23.3") 6.8 kg (15 lbs)

GPU 2500 8R 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 714 mm (28.1") 8.0 kg (17.7 lbs)

GPU 3000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 777 mm (30.6") 8.5 kg (18.7 lbs)

GPU 5000 1/2" Female/female 101.6 mm (4.0") 1054 mm (41.5") 12.5 kg (27.6 lbs)

GPU 10M 8R 1/2" Female/male 152.4 mm (6.0") 970 mm (38.2") 22.5 kg (49.6 lbs)

GPU 10M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1125 mm (44.3") 24.9 kg (55.0 lbs)

GPU 13M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1270 mm (50.0") 28.1 kg (62.0 lbs)

GPU 13M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1308 mm (51.5") 29.5 kg (65.0 lbs)

GPU 17M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1461 mm (57.5") 32.7 kg (72.0 lbs)

GPU 17M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1499 mm (59.0") 34.0 kg (75.0 lbs)

GPU 20M 12R 3/4" Female/female 152.4 mm (6.0") 1666 mm (65.6") 37.2 kg (82.0 lbs)

GPU 20M 16R 1" Female/female 152.4 mm (6.0") 1705 mm (67.1") 38.6 kg (85.0 lbs)

 

 应用程序

GateKeeper GPU 气体净化器 应用
批量气体交付
光刻术
外延生长
干法刻蚀
晶圆生长
沉积
参考资料
产品文档
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU AP 媒体气体净化器
下载 PDF
344.8 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU BX媒体气体净化器
下载 PDF
344.2 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU CO 介质气体净化器
下载 PDF
345.2 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU CR 媒体气体净化器
下载 PDF
338.1 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU DZ 媒体气体净化器
下载 PDF
376.3 千字节
发表于2026年1月1日
数据表
GateKeeper GPU EX 媒体气体净化器
下载 PDF
379.5 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU FX 媒体气体净化器
下载 PDF
336.1 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU HX 媒体气体净化器
下载 PDF
386.7 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU IX 媒体气体净化器
下载 PDF
388.8 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU LG 媒体气体净化器
下载 PDF
385.6 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU NX 媒体气体净化器
下载 PDF
387.1 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU OP 媒体气体净化器
下载 PDF
378.7 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU TX 媒体气体净化器
下载 PDF
388.0 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU WX 媒体气体净化器
下载 PDF
388.7 千字节
发表于2021年2月1日
数据表
GateKeeper GPU WY 媒体气体净化器
下载 PDF
387.4 千字节
发表于2021年9月1日
数据表
GateKeeper GPU YX 媒体气体净化器
下载 PDF
397.6 千字节
发表于2024年1月1日
数据表
突破性生命终结指标 (BTI)
下载 PDF
267.7 千字节
发表于2018年3月1日
技术说明
从气体流中减少金属污染物
下载 PDF