应特格Wafergard® II F 微型在线气体过滤器，WG2FT1RR2，常卖型号！
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推荐用于惰性和反应性气体，这些气体过滤器与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭小的气体面板和柜子中。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降减少了低蒸汽压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性气体和反应性气体，包括臭氧
产品规格
材料
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过滤元件
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疏水性PTFE膜由模压PFA结构支撑 |
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住房 |
电抛光 VAR 316L 不锈钢 |
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Downstream cleanliness |
Less than 0.03 particles/liter (<1 particle/ft3) greater than 0.01 µm |
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Volatiles |
<10 ppb moisture |
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Removal rating |
≥0.0015 µm |
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Surface finish interior |
≤7 µin Ra |
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Helium leak rating |
Qualified |
2 × 10-10 cc/sec |
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Tested |
1 × 10-9 cc/sec |
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Operating conditions |
Maximum inlet pressure |
207 barg (3000 psig) @ 23°C (73°F) |
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Maximum forward differential pressure |
4 bar (60 psid) @ 23°C (73°F)
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Maximum reverse differential pressure |
0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
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Maximum operating temperature |
120°C (248°F) |
Particle retention
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Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles @ 30 slpm (referenced at the most penetrating particle size) |
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Flow rating |
Refer to performance data |
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零件编号
Wafergard
II F 微型在线气体过滤器 部件编号
部件编号 适配尺寸和类型 长度 申请
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米 (3.54英寸) 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫密封 (兼容VCR接头) 阳口进/阴口出 88.9 毫米 (3.50英寸) 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 84.1 毫米 (3.31英寸) 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 84.1 毫米 (3.31英寸) 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封（兼容Swagelok接头） 73.7 毫米 (2.90英寸) 半导体
