气体过滤器
镍、不锈钢、合金-22 和聚四氟乙烯过滤技术。Entegris超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供0.0015微米的颗粒过滤。
气体过滤器在减少气体箱整体尺寸的同时，使过程气体的通量更高。
精选白皮书
消除不需要的氧气：从源头防止设备故障
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视频气体过滤的历史Rob Zeller，研究工程师，解释了什么是气体过滤器，气体过滤的历史，以及它们如何被引入需要严格清洁规格以保持生产力和产量的高端半导体芯片制造应用中。
其他气体过滤器Wafergard
GN气体过滤枪是一种易于使用、轻便的POU（使用点）解决方案，用于控制气体污染。过滤元件是Entegris公司独家设计，用于各种半导体工艺。
在线PTFE气体过滤器我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤，以最小化压力降并最大化过滤器寿命。可选择Wafergard
和Linegard
在线气体过滤器。
在线不锈钢气体过滤器Entegris的在线不锈钢气体过滤器专为高压和高温应用设计。它们易于安装，无需进行设计更改。
在线镍气过滤器Entegris的超纯镍过滤器是高压、高温应用中清洁度和效率最高的气体过滤产品。
表面贴装气体过滤器提供不锈钢或镍过滤元件，Wafergard 气体过滤器提供终极过程保护、优越的耐腐蚀性和与惰性、氢化物和反应性气体的出色兼容性。
表面贴装设计节省气体面板的空间，减少零件库存和差异。我们的表面贴装气体过滤器产品组合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。
在线合金-22气体过滤器Wafergard
IV合金-22（通常以品牌名称HASTELLOY
C-22
合金称呼）过滤器是适用于腐蚀性和超纯环境的最清洁、最高效、全金属过滤器。
通风气体过滤器我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤，高效控制多种生命科学、微电子、食品和饮料及其他应用中的污染。
批量气体过滤器和外壳兼容多种散装气体，包括CDA氮气、氩气、氧气、氢气和氦气。每个解决方案都是根据流量、供应压力和供应纯度设计的。
消除不需要的氧气：从源头防止设备故障（白皮书）
对于地球上的大部分地区，氧气是生命之血。对于先进的半导体和微电子制造工艺来说，氧气既是盟友也是敌人。在最坏的情况下，它的存在可能导致导致器件失效的栅电极形成缺陷。
例如，在一个自动化的300毫米晶圆厂中，晶圆在通过各种材料处理系统和晶圆处理传输机制的不同工具时，会经历600到1000个工艺步骤。
大量的工艺步骤和多样的工具为氧诱导缺陷的发生创造了无数的机会。
增加了暴露于氧气中的威胁，半导体器件继续缩小，制造这些新设计变得越来越昂贵且越来越复杂。结果，缺陷的风险增加，无谓地危及最终产量，最终危及收入。
如果像预测的那样，依赖半导体技术的技术广泛普及，那么对芯片的需求量将呈指数级增长，从而产生相应的潜在缺陷和财务影响。
因此，我们相信在这个由新的电子设备驱动的世界中，芯片制造商必须优先防止诸如不需要的氧气等污染物进入半导体、LED或OLED的制造过程（如图1所示）。
本文强调了在先进逻辑、LED和OLED电子设备组件制造过程中，消除基本薄膜沉积过程中氧气的数量、流程、科学和解决方案。
它还解释说，在可能的情况下，使用设计用于去除含氧污染物的净化产品，提供了有效的第一道防线，以防止设备故障。
气体过滤和净化
在空气、散装气体或特定气体的过滤和净化方面，Entegris拥有专业知识、技术和解决方案来满足您的需求。
无论是用于点对点气体输送还是大规模气体供应，是在腔室内还是在晶圆上，是在洁净室还是在工具上，Entegris 长期以来一直提供高性能的气体和空气净化及过滤产品，以满足您的需求。
藏在明处：一种提高气体纯度和减少晶圆缺陷的预防性维护策略
AMC 过滤器洁净室、扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
空气和气体过滤膜疏水MCE膜用于空气和气体过滤
气体过滤器在气体过程中使用镍、不锈钢和PTFE膜技术进行污染控制
气体扩散器快速向大气排放，不向腔室内添加颗粒。
气体净化器有各种各样的材料可以将气体净化到十亿分之一 (ppt) 的水平。
Wafergard
MAX HT 在线气体过滤器
在高温应用（高达200°C）中提供卓越的颗粒过滤。
Wafergard
MAX 在线PTFE气体过滤器
这些在线PTFE气体过滤器与高纯气体兼容，并且在超纯气体应用以及一般的氮气和CDA应用中提供卓越的颗粒过滤。
Wafergard
MAX-1000 在线PTFE气体过滤器
Wafergard
MAX-1000 在线PTFE气体过滤器为超纯气体应用提供卓越的颗粒过滤。
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Wafergard
II F 微型在线气体过滤器
卓越的颗粒过滤，用于超纯气体系统的过滤。推荐用于惰性和反应性气体，Wafergard
II F 微型在线气体过滤器与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性。
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Wafergard
II F Mini XL 在线气体过滤器
这些滤芯适用于惰性气体和反应性气体（包括臭氧），在气体面板、气体柜以及需要超高纯度气体进行晶圆处理的任何地方，它们都能提供卓越的颗粒过滤效果。
Wafergard
GTL 在线气体过滤器
Wafergard
GTL 在线气体过滤器专为从惰性气体中去除颗粒而设计，流量高达 80 slpm。
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Wafergard
SG 气体过滤器
Wafergard
SG FG 气体过滤器提供卓越的颗粒过滤，以最大化光伏电池和显示屏的制造产量。PTFE 过滤元件与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
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Wafergard
GT-Plus 在线气体过滤器
Wafergard
GT-Plus在线气体过滤器可去除惰性气体中的颗粒，流量高达30 slpm。
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Linegard
GIGAX-FP 过滤器
具有成本效益的0.0015 µm过滤器，适用于非关键性应用中的高流量范围。
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Linegard
MAX-FP 气体过滤器
具有成本效益的0.0015 µm过滤器，适用于中流范围，非关键应用。
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Wafergard
II SF 半在线气体过滤器
Wafergard II SF 半在线气体过滤器是高纯气体系统中首选的过滤器，特别适用于全不锈钢结构的应用场合。
其先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除材料的挥发。全金属结构非常适合高温和动态压力应用。
其紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最佳的设计效率并最大限度地降低了工程成本。
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Wafergard
II SF 微型 XL 在线气体过滤器
Wafergard
II SF Micro XL 在线气体过滤器是高纯度气体系统中首选的过滤器，特别适用于所有不锈钢结构的系统。
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Gasketgard
在线垫片过滤器
Gasketgard
在线垫片过滤器是一种紧凑型、全金属过滤器，可替代标准的1/4"、3/8"和1/2" VCR
垫片。
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Wafergard
II SF迷你/迷你XL在线气体过滤器
Wafergard
II SF Mini 和 Mini XL 在线气体过滤器是高纯气体系统中首选的过滤器，特别适用于所有不锈钢结构的系统。
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Wafergard
II 3XP 在线气体过滤器
所有不锈钢气体过滤器，适用于UHP应用，中等流量范围，最高达500标准升每分钟。
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