应特格Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器WG2F02RR2
应特格Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器WG2F02RR2，特价型号，常备现货！
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在气体面板、气体柜以及任何需要超纯气体进行晶圆处理的地方，提供卓越的颗粒过滤。
紧凑型单元减少了整体气箱的占用空间，节省了宝贵的设备空间
PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量
低压力降减少了低蒸汽压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性气体和反应性气体，包括臭氧
应用程序
Wafergard
II F Mini XL 在线气体过滤器 应用
臭氧应用（气体）
燃气柜
超纯气体系统
阀门歧管箱
燃气面板
产品规格
材料 过滤元件 疏水性PTFE膜由模压PFA结构支撑
住房 电抛光316L不锈钢
下游清洁度 粒子 <0.03颗粒/升（
挥发性 <10 ppb 水分
去除率 0.0015 微米
表面处理内部 ≤10 µin Ra
氦气泄漏等级 合格 2 × 10-10 气压/立方厘米·秒
测试通过 1 × 10-9 气压/立方厘米·秒
操作条件 最大入口压力： 20.7 MPa (207 barg; 3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向差压： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大压差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度： 120°C (248°F)
颗粒保留 去除99.9999999%（9个低呼吸体积）以上的所有颗粒，流量为100标准升每分钟（参考最穿透颗粒尺寸）
流量评级参考性能数据
零件编号
Wafergard
II F Mini XL 在线气体过滤器 部件编号
部件编号 适配尺寸和类型 长度
WG2F02JJ2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02PS1 1/4" 压缩密封（兼容Swagelok接头）阳口入口/出口 115.5 毫米 (4.55英寸)
WG2F02RR2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 127.0 毫米 (5.00英寸)
WG2F02RR4 1/2" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F32PS1 3/8" 压缩密封（兼容Swagelok接头）阳螺纹入口/出口 119.3 毫米 (4.70英寸)
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WGFG02PS1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGFG01DS0 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris WG3D40DR2 过滤器
Entegris WG3D40DR2 过滤器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRISWGMXMBSS4过滤器
应特格Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器WG2F02RR2，特价型号，常备现货！
应特格Wafergard® II F Mini XL 在线气体过滤器WG2F02RR2，特价型号，常备现货！
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在气体面板、气体柜以及任何需要超纯气体进行晶圆处理的地方，提供卓越的颗粒过滤。
紧凑型单元减少了整体气箱的占用空间，节省了宝贵的设备空间
PTFE 膜提供高效过滤，提高产品产量
低压力降减少了低蒸汽压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性气体和反应性气体，包括臭氧
应用程序
Wafergard
II F Mini XL 在线气体过滤器 应用
臭氧应用（气体）
燃气柜
超纯气体系统
阀门歧管箱
燃气面板
产品规格
材料 过滤元件 疏水性PTFE膜由模压PFA结构支撑
住房 电抛光316L不锈钢
下游清洁度 粒子 <0.03颗粒/升（
挥发性 <10 ppb 水分
去除率 0.0015 微米
表面处理内部 ≤10 µin Ra
氦气泄漏等级 合格 2 × 10-10 气压/立方厘米·秒
测试通过 1 × 10-9 气压/立方厘米·秒
操作条件 最大入口压力： 20.7 MPa (207 barg; 3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向差压： 0.4 MPa (4 bar; 60 psid) @ 23°C (73°F)
最大压差： 0.07 MPa (0.7 bar; 10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度： 120°C (248°F)
颗粒保留 去除99.9999999%（9个低呼吸体积）以上的所有颗粒，流量为100标准升每分钟（参考最穿透颗粒尺寸）
流量评级参考性能数据
零件编号
Wafergard
II F Mini XL 在线气体过滤器 部件编号
部件编号 适配尺寸和类型 长度
WG2F02JJ2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02JJ4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F02PS1 1/4" 压缩密封（兼容Swagelok接头）阳口入口/出口 115.5 毫米 (4.55英寸)
WG2F02RR2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 127.0 毫米 (5.00英寸)
WG2F02RR4 1/2" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 133.4 毫米（5.25英寸）
WG2F32PS1 3/8" 压缩密封（兼容Swagelok接头）阳螺纹入口/出口 119.3 毫米 (4.70英寸)
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WGFG02PS1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WGFG01DS0 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMPRR2
Entegris WG3D40DR2 过滤器
Entegris WG3D40DR2 过滤器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRISWGMXMBSS4过滤器