半导体晶圆厂的安全管理 气体探测器，GD-70D-EA，日本RIKEN KEIKI理研
半导体晶圆厂的安全管理 气体探测器，GD-70D-EA，日本RIKEN KEIKI理研
固定式气体探测器
GD-70D系列
GD-70D
功能
GD-70D系列是一种气体检测探头，用于检测有毒气体、氧气和半导体和液晶工厂等产生的可燃性气体。
通过传感器基板的再利用和零部件的回收，已经实现了减少环境负荷。
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抽样方法
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吸吮型/单型
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检测原理
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新陶瓷催化法，半导体法，热丝型半导体法，非色散红外法，电位电解法，膜式原电池法，热解-颗粒检测法
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警报类型
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气体报警/故障报警
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显示警报
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1st : ALM1 灯照明 (红色) 2nd : ALM2 灯照明 (红色)
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防爆建筑
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非防爆保护
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CE认证
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电磁兼容性 / 限制使用有害物质
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电源
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24 VDC±10 %
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维度
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约 70 (宽) x 120 (高) x 145 (深) 毫米
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重量
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约0.9公斤
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工作温度范围
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0 到 40 ℃（无突变变化）
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操作湿度范围
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30%到70%相对湿度（无冷凝）
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目标气体
1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF
Fixed Gas Detector
GD-70D series
GD-70D
Features
GD-70D series is a gas detector head to detect toxic gas, oxygen,
and combustible gas generated at semiconductor and liquid crystal factory, etc.
The reduction of an environmental load has been achieved by reuse of the sensor substrate and recycling of components.
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Sampling method
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Suction type/Single type
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Principle of detection
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New Ceramic catalytic Method, Semi-Conductor Method, Hot Wire Type Semi-Conductor Method, Non-Dispersive Infrared Method, Potentiostatic Electrolysis Method, Membrane Type Galvanic Cell Method, Pyrolysis-Particle Detection Method
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Type of alarm
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Gas alarm / fault alarm
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Display of alarm
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1st : ALM1 lamp lighting (red) 2nd : ALM2 lamp lighting (red)
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Explosion protected construction
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Non-explosion protection
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CE marking
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EMC / RoHS
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Power source
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24 VDC±10 %
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Dimensions
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Approx. 70 (W) x 120 (H) x 145 (D) mm
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Weight
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Approx. 0.9kg
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Operating temperature range
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0 to 40 ℃ (no sudden changes)
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Operating humidity range
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30 to 70 %RH (no condensation)
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Target gas
1-C6H12, ALD, AsH3, B2H6, Br2, BTBAS, C10H22, C2F4, C2H2, C2H2CL2, C2H4, C2H4O2, C2H5OH, C2H6, C2HCL3, C3F6, C3H6, C3H6O, C3H8, C4F6, C4H6, C5F8, C5H5N, C5H8O, C6H12, C6H12O3, C7H8, C8H16, C8H18, CH2CL2, CH2O2, CH3CN, CH3OH, CH3SiH3, CH4, CL2, CLF3, CO, COF2, COS, CTFE, D2, DEA, DEMS, DMA, DMAC, DMDMOS, DMF, EDC, EMA, EO, EtAc, F2, GeH4, H2, H2O2, H2S, H2Se, HBr, HCL, HCN, HF, HFE7200, Hhfac, HI, HMDS, HMDSO, HNO3, i-C4H10, i-C4H8, I2, IPA, LAE, LPG, MMtA, n-C6H14, N2H4, N2O, NF3, NH3, NMP, NO, NO2, O2, O3, OK-73, OMCTS, PF3, PGMMEAc, PH3, QMS, R-123, R-134a, R-152A, R-245fa, R-32, R-407E, R-41, R-410A, Si2H6, Si3H9N, SiH4, SiO2, SO2, TEB, TEOP, TEOS, TMA, TMB, TMOP, TMP, TMS, TRIMOS, TRIMS, VCM, VDF
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固定式气体探测器固定式气体探测器可用于检查工人所在工作环境的安全性，也可用于检测制造设施和设备的气体泄漏。其紧凑设计允许更小的安装空间。
GD-84D-EX
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