1230工业商城常备英特格现货型号：
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISXX67000WH过滤器
ENTEGRISWGGB01KAN气体过滤器
ENTEGRISWGFG01KL0过滤器
EntegrisWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISYY260103P滤壳
ENTEGRISPN2H010E1滤芯
EntegrisWGMXMBRR4过滤器
EntegrisWGFG02PR1过滤器
EntegrisWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀
ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器
EntegrisWGPM0GGT4过滤器
EntegrisWG2SS8RR2过滤器
EntegrisWG3NS6RR2过滤器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3阀
ENTEGRISYY260103P滤壳
ENTEGRISPN2H010E1滤芯
ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器
ENTEGRISXX67000WH过滤器
ENTEGRISWGGB01KAN过滤器
ENTEGRISWGFG01KL0过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3侦测器
EntegrisWG2SS8RR2过滤器
EntegrisWG3NS6RR2过滤器
ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器
ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISYY260103N过滤器
EntegrisCR4-2C-6F-3气动阀
ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器
EntegrisWG2FT1SS2过滤器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十个）滤芯
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRIS CTFV01P01KPW滤芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331气动阀
ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器
EntegrisCWFV0S1S3滤芯
ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀
ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器
ENTEGRISCN2501E6滤芯
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWGPM0GGG2过滤器
entegrisWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWG2SS8RR2过滤器
ENTEGRISCN2501E6滤芯
EntegrisSVTH01TQ1过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISCN2501E06滤芯
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFG50PR1过滤器
ENTEGRISWGFG01DSH过滤器
ENTEGRISPLMV-K12阀
ENTEGRISPLMV-K04阀
ENTEGRISPLMV-K16阀
ENTEGRISPLPV-K04阀
ENTEGRISPLPV-K08阀
ENTEGRISPLPV-K12阀
ENTEGRISPLPV-K16阀
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3气动阀
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
EntegrisYY5032PS1过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
entegrisWGFGT1PR1过滤器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWG2FT1RR2过滤器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFG01DS0过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器
RELATED PRODUCT CATEGORIES
QCCVATM01K
QCCVATX01
QCCZAT101
QCCZATX01
QCDVATX2F
QCDYATM0F
QCDZATXLH
QCPV15P3F
QCPV15P8P
QCVZATMTS
QCVZATMTH
QCVZATMTS0
QCVZATETH
QCVZATM4H
QCVZATM3S0
QCVZATM4S
QCVZATETS
QCVZATMT3
QCVZATX4S
QCVZATM3S
QCVZATX3S
QCVZATM4S0
QCVZATETW
QCVZATMLH
QCVZATMTW
QCVZATET3
QCVZATELH
QCVZATE4S
QCVZATE4H
QCVZATE3S
QCVZACMTW
QCVZACMTS
QCVZACM4S
QCVZACM3S
QCVZACETS
QCVZACE4S
QCVZACE3S
QCVYATMTW
QCVYATMTS0
QCVYATMTS
QCVYATMTH
QCVYATMT3
QCVYATMLH
QCVYATM4S0
QCVYATM4S
QCVYATM4H
QCVYATM3S0
QCVYATM3S
QCVYATETW
QCVYATETS
QCVYATETH
QCVYATET3
QCVYATELH
QCVYATE4S
QCVYATE4H
QCVYATE3S
QCVYACMTW
QCVYACMTS
QCVYACMTH
QCVYACM4S
QCVYACM3S
QCVYACETS
QCVYACETH
QCVYACE4S
QCVYACE4H
QCVYACE3S
QCVVATX4S
QCVVATX3S
QCVVATMTW
QCVVATMTS0
QCVVATMTS
QCVVATMTH
QCVVATMT3
QCVVATMLH
QCVVATM4S0
QCVVATM4S
QCVVATM4H
QCVVATM3S0
QCVVATM3S
QCVVATETW
QCVVATETS
QCVVATETH
QCVVATET3
QCVVATELH
QCVVATE4S
QCVVATE4H
QCVVATE3S
QCVVACM4S
QCVVACM3S
QCV0000TS
QCV0000TH
QCV00004S
QCV00003S
QCPZ30PWW
QCPZ30P8S
QCPZ30P8P
QCPZ30P3S
QCPZ30P3F
QCPZ30P2S
QCPZ30P2P
QCPZ30C3F
QCPZ30C2S
QCPZ30C2P
QCPZ15P8S
QCPZ15P8P
QCPZ15P3S
QCPZ15P3F
QCPZ15C8S
QCPZ15C3F
QCPY30X3S
QCPY30MWW
QCPY30M8S
QCPY30M8P
QCPY30M3S
QCPY30M3F
QCPY30M2S
QCPY30M2P
QCPY30C3S
QCPY30C3F
QCPY30C2S
QCPY30C2P
QCPY15M8S
QCPY15M8P
QCPY15M3S
QCPY15M3F
QCPY15C8S
QCPY15C3F
QCPV30PWW
QCPV30P8S
QCPV30P8P
QCPV30P3S
QCPV30P3F
QCPV30P2S
QCPV30P2P
QCPV30C3F
QCPV30C2S
QCPV30C2P
QCPV15P8S
QCPV15P3S
QCP0300WW
QCP03008S
QCP03008P
QCP03003S
QCP03003F
QCP03002S
QCP03002P
QCP01508S
QCP01508P
QCP01503S
QCP01503F
QCMZATX4S
QCMZATX3S
QCMZATM4S
QCMZATM3S
QCMZATE4S
QCMZATE3S
QCMZACM4S
QCMZACM3S
QCMYATM4S
QCMYATM3S
QCMYATE4S
QCMYATE3S
QCMYACM4S
QCMYACM3S
QCMYACE4S
QCMYACE3S
QCMVSTX3S
QCMVATX4S
QCMVATX3S
QCMVATM4S
QCMVATM3S
QCMVATE4S
QCMVATE3S
QCMVACM4S
QCMVACM3S
QCMGATX4S
QCM00044S
QCM00043S
QCM00004S
QCM00003S
QCDZSTXTW
QCDZSTXTP
QCDZSTXTH
QCDZSTXTF
QCDZSTXLH
QCDZSTX4F
QCDZSTX2F
QCDZSTX1F
QCDZSTX0F
QCDZSTMTH
QCDZSCX2F
QCDZSCX0F
QCDZATXTW
QCDZATXTP
QCDZATXTH
QCDZATXTF
QCDZATXT3
QCDZATX4F
QCDZATX2F
QCDZATX1F
QCDZATX0F
QCDZATMTW
QCDZATMTH
QCDZATMTF
QCDZATMT3
QCDZATMST3
QCDZATMSF
QCDZATMLH
QCDZATM4H
QCDZATM4F
QCDZATM2F
QCDZATM1F
QCDZATM0F
QCDZATETW
QCDZATETH
QCDZATETF
QCDZATET3
QCDZATELH
QCDZATE4W2WM
QCDZATE4W
QCDZATE4P2PM
QCDZATE4H
QCDZATE4F2FM
QCDZATE4F
QCDZATE2F
QCDZATE1F
QCDZATE0W2WM
QCDZATE0W
QCDZATE0P2PM
QCDZATE0F2FM
QCDZATE0F
QCDZAT1TW
QCDZAT1TH
QCDZACXTH
QCDZACXLH
QCDZACX4F
QCDZACX0F
QCDZACMTH
QCDZACMTF
QCDZACM4F
QCDZACM2F
QCDZACM0F
QCDZACE4W
QCDZACE4P3PM
QCDZACE4P2PM
QCDZACE4F
QCDZACE0F
QCDZ10P6P
QCDZ10P4F
QCDYSTX4F
QCDYSTX2F
QCDYSTX1F
QCDYSTX0F
QCDYATX4F
QCDYATX2F
QCDYATX1F
QCDYATX0F
QCDYATMTW
QCDYATMTH
QCDYATMTF
QCDYATMT3
QCDYATMLH
QCDYATM4H
QCDYATM4F
QCDYATM2F
QCDYATM1F
QCDYATETW
QCDYATETH
QCDYATETF
QCDYATET3
QCDYATELH
QCDYATE4W2WM
QCDYATE4W
QCDYATE4P2PM
QCDYATE4H
QCDYATE4F2FM
QCDYATE4F
QCDYATE2F
QCDYATE1F
QCDYATE0W2WM
QCDYATE0W
QCDYATE0P2PM
QCDYATE0F2FM
QCDYATE0F
QCDYACX0F
QCDYACMTH
QCDYACMTF
QCDYACMT3
QCDYACMLH
QCDYACM4F
QCDYACM2F
QCDYACM0F
QCDYACETH
QCDYACELH
QCDYACE4W
QCDYACE4P3PM
QCDYACE4P2PM
QCDYACE4H
QCDYACE4F
QCDYACE0W
QCDYACE0F
QCDY10P6P
QCDY10P4F
QCDY10C6P
QCDY10C4F
WGMXMBRR2数量5
为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。
最先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器
以高达 30 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。
提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
> 99.9999999% 去除所有直径大于 0.015 μm 的颗粒
应用
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA)
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外壳： 粉煤灰
推荐流量 30 升/分钟
连接 1/8", 1/4" 压缩密封
膜面积 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
颗粒保留 >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在最具穿透性的颗粒尺寸下验证）
运行条件 最大工作压力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向压差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
最大反向压差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作温度： 50°C (122°F)
方面 长度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA 8个 单价24500 8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4个 单价62000 3.5-4个月
零件号
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 选择选项
WGFG01KP0 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件装过滤器
WGFG01KP3 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件装过滤器
WGFG21KP0 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件装过滤器
WGFG21KP3 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件装过滤器
ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2现货
其他商品
动压应用
惰性和活性气体
产品规格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 μm
挥发物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
.特种气体
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。我们富有经验的应用团队遍布全球，可以根据对您的行业和应用情况的了解，为您提供特种气体供应解决方案，以满足您的独特需求。
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ZQVTEIC42SP
NXPY300M31SP
PIPW30C3SA
TPVW3CE3S
CHRZ5NPNM1510S82SW
LPFHTIXP12168E71
QCPY30M2S
NXPY150M31SP
NXVYE10902SP
TRPW30C2S
CRZ5NPNM1010SB2SW
TRCTEICOBKPL
TRPJ30EM31SP
NXVYE10942SP
TRCT31COBKP
TRVWACE3S
ECDYOlM01
TPCWACEB1K
CHRZ5TVNM1010S84AXSW
NXVZM10902SP
IHATOIM01K
NXCZM1000KP
PADGIHSVH3EHIK13C
LDFDTIHSVHI600040
TRVXATETN
NXVYM10942SP
TRVTEIC942SPL
NXPGXS0T02HP
TRMWAGE3S
ZQVTE1C942SP
ABPGIHSVH3EH1K13C
NXCYE1000kP
PRLXOlPQ1K
TKVTEIC942SPL
TRPJ30EM31SP
GSCFMEOOKT
SWPO3HSAN4E71KBD
PRLXOLRML
SWF041EC284E7IPE1
SWF04XP284E71K18
LPFVTIXP2168E71
TRDWACE4F
ECDY01M01
ABPGIHSAH3EH1K13D
LDFDTIHSAH16S00109
LPEGNIHSSVH16S00058
TRPM30EM31SP
TRVXATE3S
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG FG 气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG FG 气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 垫圈密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，接头用塑料盖代替金属盖保护 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封垫圈（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常规型号均有现货
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
CTPR01P01K
CTFA01TC1K
CBUZ8L0P1
MR1F01025EH1
VCSC10004M3F300
CTFC01TPE
NXCYE10000P
CTFG01TPEKPW
NXCVX1000KP
CTFG02TPEK
CTFV02TPEK
GSCFM2E00KT
MRF1UKFR25EH1--K3
MRF1UKFT25EH1--K3
ABFG1GPK3EHI-K7
ABFIUFR3EH1-K3
ABDG1HSSH3EHI-K13C
EZA2091201
AB09UHHD3EHIK12
TADXACEOF
TRVXATE3S
TRVXATE4S
ECDFM1C942SD
S4415R026Y18
XPRESSKLEEN KC
QCDYACM2F
PIPW30C2S
4022.656.73041
TRPT15XM31SP
TRPW30C3S
NXPY150M86SP
NXDZM10B022P
LDFN3UFD7E2
SWF03XP54E71-K18
LDFVT1GPDL168E71-K
LDFN01F0005SW22
DFA2Y002F64
分享到：