推动改变世界的科技
作为一个与领先制造商合作，推动技术持续进步的全球性公司，我们拥有全球基础设施，包括战略性分布的制造工厂、研发设施和客户支持中心。
我们在所有全球地区都进行基础设施投资，以便更靠近我们的客户。我们技术高超的团队成员、设施和资源就在您最需要的地方，帮助您解决最先进的技术问题。
产品与解决方案包括：
净化气体、流体和环境的过滤产品
液体系统和组件，用于分配、控制、分析或传输工艺流体
安全储存和输送有毒气体的气体输送系统
用于先进节点沉积和清洁的特殊化学品
晶圆运输和包装盒，防止半导体晶圆受到污染和破损
提供高纯度表面以增强耐磨性、耐腐蚀性和光滑度的特种涂层
高性能应用的优质石墨和碳化硅
用于保护和运输硬盘驱动器组件的包装盒和托盘
我们的核心竞争力创新科学
第四次工业革命已经到来。人工智能、增强现实、物联网——这些不仅仅是趋势，它们正在改变全球人们的生活方式。
随着这些新驱动力和创新速度的加快，人们期望能更快地获得更高质量、更高性能的技术。
通过屡获殊荣的解决方案和我们的技术专业知识，我们为客户提供创新的、基于科学的解决方案，以应对他们最棘手的技术挑战。 在Entegris，我们是创新之科学。
材料科学与分析分离科学膜科学与工程聚合物表征与开发界面科学污染源分析
先进材料材料合成与定制配方精密气体混合物特种涂料石墨、碳化硅和工程碳表面预处理和清洁液态和气态储存与运输
微污染控制前沿液体过滤和净化气体净化到十万亿分之一 (ppt) 水平先进晶圆厂的空气分子污染（AMC）解决方案晶圆和掩膜片处理流体管理、感知与控制
制造卓越超净元件和材料制造快速原型和定制先进的质量控制与集成统计过程控制广泛的全球制造业务足迹
气体过滤与净化
当涉及到空气、散装气体或特定气体的过滤和净化时，Entegris拥有专业知识、技术和解决方案来满足您的需求。
无论是用于点用还是批量气体输送，是在腔室内还是在晶圆上，是在洁净室还是在工具上，Entegris 都有悠久的历史，提供高性能的气体和空气净化及过滤产品以满足您的需求。
藏在明处：一种提高气体纯度和减少晶圆缺陷的预防性维护策略
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AMC过滤器洁净室、扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
空气和气体过滤膜疏水MCE膜用于空气和气体过滤
气体过滤器在气体流程中使用镍、不锈钢和PTFE膜技术进行污染控制
气体扩散器快速向大气排放，不向腔室内添加颗粒
气体净化器有各种各样的材料可以将气体净化到十亿分之一 (ppt) 的水平。
在线PTFE气体过滤器
用于低温应用中的高纯度颗粒去除的聚合物膜气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤，以最小化压力降并最大化过滤器寿命。选择Wafergard
和Linegard
在线气体过滤器。
LED
相关产品类别
其他气体过滤器Wafergard
GN气体过滤枪是一种易于使用、轻便的POU（使用点）解决方案，用于控制气体污染。过滤元件是Entegris独家设计，用于各种半导体工艺。
在线不锈钢气体过滤器Entegris的在线不锈钢气体过滤器专为高压和高温应用设计。它们易于安装，无需进行设计更改。
在线镍燃气过滤器Entegris的超纯镍过滤器是高压、高温应用中清洁度和效率最高的气体过滤产品。
表面贴装气体过滤器不锈钢或镍滤芯，Wafergard 气体过滤器提供终极过程保护，卓越的耐腐蚀性和与惰性、氢化物和反应性气体的出色兼容性。
表面贴装设计节省气体面板的空间，减少零件库存和差异。我们的表面贴装气体过滤器产品组合包括C密封1.125英寸和W密封1.125英寸或1.5英寸格式。
在线合金-22气体过滤器Wafergard
IV合金-22（通常以品牌名称HASTELLOY
C-22
合金）滤器是适用于腐蚀性和超纯环境的最清洁、最高效、全金属滤器。
通风气体过滤器我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤性能，高效控制多种生命科学、微电子、食品和饮料及其他应用领域的污染。
批量气体过滤器和外壳兼容广泛的散装气体，包括CDA氮气、氩气、氧气、氢气和氦气。每个解决方案都是根据流量、供应压力和供应纯度设计的。
我们的空气和气体过滤膜产品组合具有良好的强度，易于模切和密封。我们的膜产品有多种形状可供选择，包括圆盘、正方形和卷轴，可以根据您独特应用所需的精确尺寸进行定制。
气体净化器
有各种各样的材料可以将气体净化到十亿分之一 (ppt) 水平。
我们创新的气体微污染控制解决方案能够以高可靠性、低成本和高性能有效去除气体污染物。独立的气体净化系统提供先进的控制和原位再生，以满足您的规格要求。
我们广泛的气体净化器和环保系统组合旨在提高半导体、平板显示、氢能及其他高纯度应用中的气体一致性、使用寿命和出口纯度。显示 25 个产品
H2PS 除氧干燥机 - 零损失气体净化器
使通过电解槽产生的氢气达到亚百万分之一的纯度水平。
GPS8 氮气净化器
高效地去除大量杂质，具有高可靠性、低成本和高性能。
GateKeeper
GPU 气体净化器
我们的GPU气体净化器能够高效地去除各种流量下的卤化气体、氢化物、活性氧化物、饱和和不饱和烃类、氟烃和氯烃。
气体净化
GateKeeper
HGU 加热型气体净化器
我们的PS2、PS3、PS4气体净化器高效地去除H2O、O2、CO、CO2、H2、N2和THC，流量高达150 slpm（9 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS8 氮气净化器
我们的自动再生式，PS8，N2 气体净化器高效地去除2氧气、2、一氧化碳、2和2，流量高达833,333 slpm（50,000 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS9 氮气净化器
我们的催化剂和吸附剂，PS9，N2 批量气体净化器高效去除2氧气、O2、一氧化碳、CO2、氢气和四氢呋喃，流速高达200,000 slpm（12,000 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS5 氩气净化器
我们的PS5稀有气体净化器高效去除H2、O2、CO、CO2、H2、N2和THC，流量高达5,833 slpm（350标准立方米/小时）。
MegaTorr
PS7-A 氢气净化器
我们的自动再生型，PS7-A，H2 气体净化器高效地去除2O，O2，CO，CO2，以及NMHC，流量高达16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS7-H 氢气净化器
我们的吸附剂和捕获剂PS7-H，H2 气体净化器高效去除H2O、O2、CO、CO2、THC和N2，流量高达3,333 slpm（200 Nm3/hr）。
MegaTorr
PS7-CR 氢气净化器
我们的低温、PS7-CR、H2 气体净化器高效地去除H2O、O2、CO、CO2、THC和N2，流量高达16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
在线不锈钢气体过滤器
不锈钢膜气体过滤器，用于高温应用中的0.0015微米颗粒去除
Entegris的在线不锈钢气体过滤器专为高压和高温应用设计。它们易于安装，无需进行设计更改。
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Wafergard
II SF 半在线气体过滤器
Wafergard II SF 半在线气体过滤器是首选的高纯气体系统过滤器，特别适用于全不锈钢结构的应用场合。先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除材料的挥发。
全金属结构非常适合高温和动态压力应用。其紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了终极设计效率并最大限度地降低了工程成本。
工业，半导体，平面显示面板，数据存储，LED
Wafergard
II SF 微型 XL 在线气体过滤器
Wafergard
II SF Micro XL 在线气体过滤器是高纯度气体系统中首选的不锈钢结构过滤器。
Gasketgard
在线垫片过滤器
Gasketgard
在线垫片过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可替代标准的1/4", 3/8"和1/2" VCR
垫片。
Wafergard
II SF迷你/迷你XL在线气体过滤器
Wafergard
II SF Mini 和 Mini XL 在线气体过滤器是高纯气体系统中首选的不锈钢结构过滤器。
Wafergard
II 3XP 在线气体过滤器
适用于中等流量范围（最高500标准升每分钟）的UHP应用的全不锈钢气体过滤器
200毫米晶圆运输盒
我们提供种类繁多的产品，以满足当今半导体行业的需求。我们的解决方案解决了200毫米晶圆厂中的自动化、污染和生产力问题。
150毫米晶圆运输盒
我们提供种类繁多的产品，以满足当今半导体行业的需求。我们的解决方案解决了150毫米晶圆厂中的自动化、污染和生产力问题。
125毫米晶圆运输盒
我们提供种类繁多的产品，以满足当今半导体行业的需求。我们的解决方案解决了125毫米在自动化、污染和生产力方面的担忧。
100毫米晶圆运输盒
我们提供种类繁多的产品，以满足当今半导体行业的需求。我们的解决方案解决了100毫米晶圆厂中的自动化、污染和生产力问题。
76.2 毫米 (3英寸) 晶圆运输盒
我们提供种类繁多的76.2毫米产品，以满足当今半导体行业的需求。我们的解决方案解决了自动化、污染和生产力问题。
2.5英寸及更小晶圆运输盒
我们提供种类繁多的2.5英寸产品，以满足当今半导体行业的需求。我们的解决方案解决了自动化、污染和生产力问题。
产品目录
提升您的工艺，提高纯度、安全性和性能
作为提供先进材料、污染控制和材料处理解决方案的全球领先企业，我们拥有您实现制造工艺目标所需的产品、技术和专业知识的广泛组合。
精选视频
综合计量方法的整体过滤解决方案：过氧化氢与聚四氟乙烯膜
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化学
作为一个提供先进专用材料和递送系统的供应商，我们拥有制定和递送您所需化学物质的专业知识，以实现您的工艺并达到您的性能目标。
设备托盘
综合IC封装配送系统，用于保护和运输裸片、CSP、光电元件及其他微电子装置。
流体管理系统
我们提供完整的系统解决方案，从大宗化学品分发到使用点，构建一个完整、无泄漏、可靠的流体处理网络。
气体过滤与净化
从空气或工艺气体流中去除不需要的气体分子对于减少工艺污染至关重要。我们的过滤器和扩散器系列旨在保护房间和工艺免受污染物的侵害。
硬盘组件处理
可靠的硬盘组件处理解决方案，能够安全高效地运输关键材料。
液体过滤与净化
我们能力的核心是先进的科学知识和精湛的制造技术，能够提供当今市场上最好的液体过滤和净化解决方案。
掩膜和十字线处理
正确处理重要的工艺技术对工艺性能至关重要。我们的pod、包装和系统提供顶级的保护，防止损坏和污染。
其他基片处理
我们的晶圆保护盒和盒式容器旨在为您的珍贵基板提供终极保护，在日常运输活动中确保其免受损坏和污染。
特种气体
我们是为各种制造过程提供安全储存和输送高毒性气体的领导者。
特殊材料
优质石墨、碳化硅和用于当今高要求高科技应用的涂层解决方案。
晶圆处理
创新的晶圆运输和处理解决方案，为宝贵的晶圆提供卓越的保护。
批量气体过滤器和外壳
易于安装，紧凑型镍和PTFE膜气体过滤器和不锈钢外壳，用于去除0.0015微米的颗粒，在高温和高流量应用中（高达50,000Nm3/hr）。
兼容广泛的散装气体，包括CDA氮气、氩气、氧气、氢气和氦气。每个解决方案都是根据流量、供应压力和供应纯度设计的。