美国英特格entegris，过滤器WGPM0GGT2，自营现货
美国英特格entegris，过滤器WGPM0GGT2，自营现货
美国英特格entegris，过滤器WGPM0GGT2，自营现货
应特格ENTEGRIS,在线 PTFE 气体过滤器WGMXMSRR2，现货4个
应特格ENTEGRIS,在线 PTFE 气体过滤器WGMXMSRR2，现货4个
应特格ENTEGRIS,在线 PTFE 气体过滤器WGMXMSRR2，现货4个
应特格ENTEGRIS,在线 PTFE 气体过滤器WGMXMSRR2，现货4个
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
美国ENTEGRIS应特格，WG3NS8RR2现货，Wafergard? III NF Micro XL 在线气体过滤器
WG3NS6SL2
WGMXLPRR6
WG3DBGNRR4
SI2MSNFE05?
WG2F15HJJ6
WG2F40RR3
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
WG3D50DR2
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
WGSLNFC1H?
美国ENTEGRIS气体过滤器，WDPM0CPSF，数量3个
SV10F20E16 气体过滤器
SVTV01TQ1 气体过滤器
WGFG16HP2，气体过滤器
Entergris 过滤器
型號：TRVT31X942SP
CWAG16KL1? ?3个
美国ENTEGRIS英特格，过滤器WGPM0GGG2，现货
SI2N0100BRR6,
WGFG16HP2
美国ENTEGRIS英特格，过滤器 WG3NS7SL2
WGMXMBSS4
CBUG050P1
英特格 A2AG200K1?
SVEG01P01
WGMXMBSS4
WGMXMBSS3
YY4110106
YY5032PS1
YY4110104
YY66H0A2A
A2AG200K1
GPUS700FIX04R02CA
Gas cleaner series GPU 2500F, HX filler GPUS2500FHX04R00CR
WGMXMPRR4数量10
WGMXMBRR2数量5
为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。
最先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器
以高达 30 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。
提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
> 99.9999999% 去除所有直径大于 0.015 μm 的颗粒
应用
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA)
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
支架、外壳： 粉煤灰
推荐流量 30 升/分钟
连接 1/8", 1/4" 压缩密封
膜面积 12 厘米2 (1.9 英寸2 )
颗粒保留 >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在最具穿透性的颗粒尺寸下验证）
运行条件 最大工作压力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
最大正向压差： 0.34 MPa (3.4 bar, 50.0 psid) 在 20°C
最大反向压差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
最高工作温度： 50°C (122°F)
方面 长度： 1/8" 密封件：69 mm (2.7")
1/4" 密封件：71.5 mm (2.8")
直径： 21.5 毫米（0.85 英寸）
GPUS200FEX04R00CA 8个 单价24500 8-10周
GPUS2500FWY08R00CA 4个 单价62000 3.5-4个月
零件号
Wafergard GT-Plus 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 选择选项
WGFG01KP0 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 10 件装过滤器
WGFG01KP3 1/8" 压缩密封 69.0 毫米（2.7 英寸） 3 件装过滤器
WGFG21KP0 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 10 件装过滤器
WGFG21KP3 1/4" 压缩密封 71.5 毫米（2.8 英寸） 3 件装过滤器
ENTEGRIS英特格，Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器，WGMXMPRR2现货
其他商品
动压应用
惰性和活性气体
产品规格
WG3NS7SL2 WG3NS3RF2 WG2F02PSI
WGSLSHW1MP-T
WGMXMBSS4
WG3SS1WW2
WG2S01WW2
材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 μm
挥发物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件号
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
.特种气体
特种气体是指稀有气体或超高纯度（99.995% 以上）的气体。包括分析、医药、电子及石油化工在内的许多行业都会受益于特种气体的独特性质，它有助于提高产量、优化性能以及降低成本。我们富有经验的应用团队遍布全球，可以根据对您的行业和应用情况的了解，为您提供特种气体供应解决方案，以满足您的独特需求。
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGMBRR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
Entegris WG2FT1SS2
Entegris WG2FT1SS2
ENTEGRIS WGMXMSRR4
ENTEGRIS WGMXMSRR2
Entegris WG2FT1RR2
Entegris WG2FT1RR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ZQVTEIC42SP
NXPY300M31SP
PIPW30C3SA
TPVW3CE3S
CHRZ5NPNM1510S82SW
LPFHTIXP12168E71
QCPY30M2S
NXPY150M31SP
NXVYE10902SP
TRPW30C2S
CRZ5NPNM1010SB2SW
TRCTEICOBKPL
TRPJ30EM31SP
NXVYE10942SP
TRCT31COBKP
TRVWACE3S
ECDYOlM01
TPCWACEB1K
CHRZ5TVNM1010S84AXSW
NXVZM10902SP
IHATOIM01K
NXCZM1000KP
PADGIHSVH3EHIK13C
LDFDTIHSVHI600040
TRVXATETN
NXVYM10942SP
TRVTEIC942SPL
NXPGXS0T02HP
TRMWAGE3S
ZQVTE1C942SP
ABPGIHSVH3EH1K13C
NXCYE1000kP
PRLXOlPQ1K
TKVTEIC942SPL
TRPJ30EM31SP
GSCFMEOOKT
SWPO3HSAN4E71KBD
PRLXOLRML
SWF041EC284E7IPE1
SWF04XP284E71K18
LPFVTIXP2168E71
TRDWACE4F
ECDY01M01
ABPGIHSAH3EH1K13D
LDFDTIHSAH16S00109
LPEGNIHSSVH16S00058
TRPM30EM31SP
TRVXATE3S
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS CBUG0S0S1
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGFGT1PR1
ENTEGRIS WGPM0GGT4
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WGPM0GGG2
ENTEGRIS WG2F02RR2
ENTEGRIS WG2F02RR2
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRIS WG3NS8RR2
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG FG 气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG FG 气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。PTFE 滤芯与高纯度工艺气体以及惰性气体和 CDA 应用兼容。
合身尺寸
1/4" 3/8"
配件类型
压缩密封 密封垫片 不扩散核武器条约
长度
73.7 毫米（2.90 英寸） 84.1 毫米（3.31 英寸） 115.5 毫米（4.55 英寸） 119.3 毫米（4.70 英寸） 127 毫米（5.00 英寸） 133.5 毫米（5.26 英寸）
少看
最大工作压力
20 兆帕（200 巴 2900 psid) @ 23°C (73°F)
Wafergard SG 气体过滤器
Wafergard SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤，以最大限度地提高光伏电池和显示器的生产产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的兼容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示器制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
气体面板
零件号
Wafergard SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 垫圈密封（VCR 兼容） 127 毫米（5.00 英寸）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 气体过滤器 500 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 112.7 毫米（4.44 英寸）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 117.9 毫米（4.64 英寸）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 气体过滤器 1000 升/分钟 1/2" 压缩密封（兼容 Swagelok） 118.7 毫米（4.67 英寸）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 84.1 毫米（3.31 英寸）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 气体过滤器 60 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 73.7 毫米（2.90 英寸）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 垫圈密封（VCR 兼容） 127.0 毫米（5.00 英寸）
YY5002PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 120 升/分钟 1/4" 压缩密封（兼容 Swagelok） 115.5 毫米（4.55 英寸）
YY5032PR1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 垫圈密封（VCR 兼容） 133.5 毫米（5.26 英寸）
YY5032PS1 Wafergard SG PAL 气体过滤器 200 升/分钟 3/8" 压缩密封（与世伟洛克 兼容） 119.3 毫米（4.70 英寸）
WG3NS8RR2 1/4" 垫圈密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，接头用塑料盖代替金属盖保护 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封垫圈（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯度气体兼容，并在 超纯气体应用 以及 一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤。
PTFE 滤芯在超纯应用中表现出色
专为高流量和低增量压力应用而设计
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
为快速启动而预先调节（仅限银色）
应用
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器应用
兼容所有类别的半导体工艺气体
与一般氮气和 CDA 应用兼容
产品规格
材料 滤芯 由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光低硫 316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
挥发物（银） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（检测下限为 5 ppb）
移除等级 ≥0.0015 微米
表面处理内部 WGMX（青铜）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（银/青铜加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
经过测试 1 x 10 -9 atm-cc/秒
运行条件
最大入口压力
Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青铜 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接头：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向压差 7 巴 (102 psid)
最大反向压差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作温度 120°C (248°F)
流量等级 参考性能数据
保修单 青铜 1年
银 3年
颗粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
零件号
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世伟洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世伟洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世伟洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 对焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGFGT1PR1 WGFGMBRR4 YY5032PR1 WGMXLPRR6 YY56HF20F WG2F02RR4 WGMXMBRR4 WGMXMSRR2 WG2FT1RR2 WG2F15HJJ6 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 SVTG01TQ1 SVTG01TQ1KPW SVTH01TQ1 CTFG0STPE SVTV01TQ1KPW SVTZ01TQ1KPW GPUS2500FIX04R00CA 等常规型号均有现货
ENTEGRIS WGPM0GGT4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
Entegris WG2FT1RR2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
Entegris WGMXMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 过滤器
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）
CTPR01P01K
CTFA01TC1K
CBUZ8L0P1
MR1F01025EH1
VCSC10004M3F300
CTFC01TPE
NXCYE10000P
CTFG01TPEKPW
NXCVX1000KP
CTFG02TPEK
CTFV02TPEK
GSCFM2E00KT
MRF1UKFR25EH1--K3
MRF1UKFT25EH1--K3
ABFG1GPK3EHI-K7
ABFIUFR3EH1-K3
ABDG1HSSH3EHI-K13C
EZA2091201
AB09UHHD3EHIK12
TADXACEOF
TRVXATE3S
TRVXATE4S
ECDFM1C942SD
S4415R026Y18
XPRESSKLEEN KC
QCDYACM2F
PIPW30C2S
4022.656.73041
TRPT15XM31SP
TRPW30C3S
NXPY150M86SP
NXDZM10B022P
LDFN3UFD7E2
SWF03XP54E71-K18
LDFVT1GPDL168E71-K
LDFN01F0005SW22
DFA2Y002F64
QCVYATE4S
VDKD0010BFL64-4D
ULTIKLEEN G2 HIT KC
FILTER UPW
ENTEGRIS WG3NSMSL2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
WGFGMBRR4 WGFGT1PR1 WGMXLPRR6 LGMXFPRR4 LGMXFPSS3 WG2F02RR2 WG2F02RR4 WG2F15HJJ6 WG2FT1RR2 WG3NS8RR2 WGFA21KP0 WGFG01DS0 WGFG01DSH WGMXMBRR4 WGMXMPRR4 WGMXMSRR2 WGPM0GGT2 WGPM0GGT4 YY5032PR1 YY5032PS1 SI2N0100B
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGMXMBRR4 WGMXMBRR2 WGFGMBRR2 过滤器 应特格
WGFG01KP3 WGFG01DSH WGFG01DS0 WGFA21KP0
WGSLSFC1M
YY5001HR1
LGMXFPRR4 过滤器 entegris 应特格
SI2R15E05 SI2N0100B SI2N0200B 过滤器
YY5032PR1
YY5032PS1
YY50600VT
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
YY5032PS1 YY5032PR1 卡套 3/8
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可与标准 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
长度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行业
半导体 平板显示器 数据存储 引领
过程
散装气体输送 薄膜 沉积 干蚀刻 离子注入 光刻
Gasketgard 在线垫片过滤器
Gasketgard 在线垫圈过滤器是一种紧凑型全金属过滤器，可代替标准的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 垫圈。
保持器便于对齐
设计用于轻松插入标准气体管线
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4WSP20-2C-20KK
WSP20-2M-20KK
CG2NDD050R2
LGMXFPRR4
LGMXFPSS3
SI2MSNFE05
SI2N0025R
SI2N0050R
SI2N0100B
SI2N0100BRR8
SI2N0200B
SI2R007RO
SI2R15E05
SI5BGLTE07
WG2F02RR2
WG2F02RR4
WG2F15HJJ6
WG2FT1RF2
WG2FT1RR2
WG2FT1SS2
WG2SS8RR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3JJ2
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
WG3NS8RR2
WG3SS1WW2
WG3SS2WW2
WGFA21KP0
WGFG01DS0
WGFG01DSH
WGFG01KP0
WGFG01KP3
WGFG01RH2
WGFG02PR1
WGFG21KP0
WGFG21KP3
WGFG32PRU
WGFG50PR1
WGFGMBRR2
WGFGMBRR4
WGFGT1PR1
WGFGT1PS1
WGGB12S02
WGL045HS3R2
WGMXLBRR4
WGMXLPRR6
WGMXMBRR2
WGMXMBRR4
WGMXMBSS3
WGMXMPRR4
WGMXMPRR6
WGMXMSRR2
WGMXMSRR4
WGPM0GGG2
WGPM0GGT2
WGPM0GGT4
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
YY5001HR1
YY5032PR1
YY5032PS1
应用程序
Gasketgard?在线垫片过滤器应用
适用于高达400°C(752°F)的应用
用于保护敏感气体元件
适用于高压和高温应用
产品规格
材料:烧结316L不锈钢过滤介质焊接316L不锈钢垫片
固定器316不锈钢
颗粒保留率:直径大于0.3μm的所有颗粒去除率大于95%
工作条件:最大压差1 / 4”P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1 / 4 " P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1 / 2”P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1 / 2”P2: 2.9 MPa (29 bar, 421 psid)
最高工作温度400°C(752°F)[惰性气体]
零件编号
Gasketgard?在线垫片过滤器部件编号
零件编号、尺寸和型号长度
wgpm0ggg2 1/4"型25.00 mm (0.98")
wgpm0ggt2 1/4"型带挡圈25.25 mm (0.99")
wgpm0ggt4 1/2"(3/8")型带挡圈29.50 mm (1.16")
MRO供应链商城--1230SHOP，常备美国Entegris英特格/应特格各类过滤器、纯化器，现货金额超百万！
应特格Entegris常规现货型号有：
GPUS2500FIX08R00CA，
GPUS2500FHX08R00CA，
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFG01DS0
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGFGT1PR1
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISLGMXFPRR4
entegrisCTFG01TPE
ENTEGRISWGPMOGGT4
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWGFGMBRR4
ENTEGRISWG2F02RR2
EntegrisWFRGD3 NF-30 3.3 IN LG WG3NS6RR2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISWGPM0GGG2
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NS8RR2
ENTEGRISCBUG0S0S1
EntegrisWG2FT1SS2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWGMXMSRR4
ENTEGRISWGMXMSRR2
YY50600VT
GPUS200FIX04R00CA
GPUS2500FHX04R00CA
GPUS2500FHX08R00CA
GPUS2500FIX04R00CA
GPUS2500FIX08R00CA
GPUS2500NCX04R00CA
GPUS2500NCX08R00CA
GPUS2500NCX08R02CA
GPUS300FWX04R02CA
GPUS300FYX04R02CA
GPUS300NCX04R02CA
AFUG0LPM1
AHUXMLEX1
AMVT33201
APD12LEM1
APD25LEM1
APD50SPM1
BA10012PWENH
BA10022PWENH
CHUX3L0P1M
CHUY3L0P1M
CN2501E06
DFFG01N8S1P
FGPA010T1
FGPH010T1
PFFZ01P4P
PGFPV010V1
PGPDN002AH3NF-N
PGPSG010E1
SKPS010H2F
SV02010E1
SV0261PE1
SV02R10E1
SV0561PV1
SV05R10E1
SV1061PE1
SV10R10E1
SV1H61PE1A
SV1HR10E1A
SV20R10E1
SV2HR10E1
SV2HR10T1
SV30010E1
SV3061PE1
SV30R10E1
SV30R10T1
SV3H61PE1
SV3HR10T1
SV4HR10T1
SV50R10E1
SVAAR10E1
SVAG010E1
SVAG020T1
SVAG61PE1
SVAGR10E1
SVAH010E1
SVAH61PE1
SVAHF10E1
SVAVR10E1
SVEG010E1
SVEG0S0E1
SVEG61PE1
SVES020T1
SVSAR10E1C
SVSGR10E1C
SVSHR10E1C
SVSV61PE1C
SVSVR10E1C
UPEH030E1
CPUV01PLT
CTCAT200Q0D
CTCGT100BKH
CTCVT100Q0H
CTCVT100QKH
CTFG01TPE
CTFG0STPE
CW0A020E1
CWAG0S0S1
WG2L200SS3R2
WG2L200SS3R4
WG2L500SS5R4
WG2S01WW2
WG2SS8RR2
WG2SS8RR2S
WG3D25LR2
WG3D25SR2
WG3D401R2
WG3D40DR2
WG3NS1RR2
WG3NS2RR2
WG3NS2RR4
WG3NS3RF2
WG3NS6RR2
CWAG40EL1
CWAV3L0S1
CWUG3L0S1
NXCGT10000P
NXPZ150M31FP
PGTV01EQ1
SVTA01TQ1
SVTA01TQ1K
SVTA02TQ1
SVTA0MTQ1
SVTB01TQ1K
SVTC01TQ1
SVTG01TQ1KPW
SVTG02TQ1KPW
SVTH01TQ1
SVTH01TQ1KPW
SVTV01TQ1
SVTV01TQ1K
SVTV01TQ1KPW
SVTV02TQ1KPW
SVTZ01TQ1KPW
WGSLNFC1L
WGSLSFC1M
非常适合高压和高温应用
保护关键部件免受颗粒物损坏
在世界一流的 ISO 认证设施中制造
应用
Gasketgard 在线垫片过滤器应用
用于最高 400°C (752°F) 的应用
WG2L200SS3R2，WGL100NS3R2 各一个询价?
用于保护敏感气体成分
适用于高压和高温应用
产品规格
材料： 焊接到 316L 不锈钢垫片上的烧结 316L 不锈钢过滤介质
保持器 316 不锈钢
颗粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直径的颗粒超过 95%
运行条件： 最大压差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
最高工作温度 400°C (752°F) [惰性气体]
零件号
Gasketgard 在线垫片过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型带保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型带保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00过滤器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS23.00过滤器
EntegrisWG2FT1SS22.00过滤器
YY260103P，2个
PN2H010E1，2个
ENTEGRISWGMXMSRR41.00过滤器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00过滤器
50多年来，ENTEGRIS的日常使命一直是帮助客户利用他们先进的基于科学的解决方案来支持需求 驱动程序。更快，更有效地进行创新;并最终改变世界。通过他们的解决方案和技术专长的力量， Entegris为客户提供基于科学的创新解决方案，以应对严峻的技术挑战。ENTEGRIS的总部位于 马萨诸塞州的比勒里卡，在全球拥有大约5100名员工，大约一半在亚太地区或欧洲工作。通过在 亚太地区，北美和欧洲的研发，客户服务，分析实验室和制造，ENTEGRIS在将技术提升到更高水 平时为全球客户提供支持。
。
美国ENTEGRIS Wafergard II SF半在线气体过滤器
①当首选所有不锈钢结构时，Wafergard II SF半在线气体过滤器是高纯度气体系统的首选过滤器 。
②先进的外壳组件通过最小化焊接面积消除了脱气现象。
③全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择。
④其紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提供最高的设计效率，并降低工程成本。
美国ENTEGRIS Gasketgard?在线垫片过滤器
①Gasketgard 直列式垫片过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，可代替标准的1/4“，3/8”和1/2 “VCR 垫片
②固定器，易于对准
③专为轻松插入标准气体管线而设计
④高压和高温应用的理想选择
⑤保护关键组件免受微粒伤害
⑥ISO认证的工厂中制造
PART NUMBERS
Chemlock? Filter Housings Part Numbers
Hide Part Numbers
YY5605153 YY5605203 YY5611153 YY5611153GF YY5611153T
YY5611160 YY5611160T YY5611170 YY5611170GF YY5611170T
YY5611180 YY5611180GF YY5611180T YY5611190GFM YY5611190M
YY5611203 YY561120A YY561120B YY561120E YY561120F
YY561120P YY5611213 YY561121F YY561121P YY5611250
YY5611250GF YY5611250T YY5611253 YY5611253GF YY5611253T
YY5611280 YY5611280GF YY5611280T YY5611290GFM YY5611290M
YY5611G03 YY5611G0B YY5611G0E YY5611G0F YY5611G0P
YY5611G13 YY5611G1E YY5611G1F YY5611G1P YY562010NS
YY5620160 YY5620160T YY5620170 YY5620170GF YY5620170T
YY5620180 YY5620180GF YY5620180T YY5620190GFM YY5620190M
YY5620190TM YY5620203 YY562020B YY562020E YY562020F
YY562020P YY5620213 YY562021F YY562021P YY5620250
YY5620250GF YY5620250T YY5620253 YY5620253GF&nb
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