为超纯气体系统过滤提供卓越的微粒过滤，是高温和动态压力应用的理想选择。

最先进的外壳组件通过最小化焊接区域来消除除气
全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择
紧凑的尺寸和灵活的配件选择提供了最高的设计效率并最大限度地降低了工程成本
应用
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器应用
超纯气体管线
高温应用
新工厂建设
动压应用
惰性和活性气体
产品规格

材料 滤芯 烧结镍膜过滤器
  住房 电抛光 VAR316L 不锈钢外壳
下游清洁度 粒子 <0.03 颗粒/升（<1 颗粒/ft 3） >0.01 μm
  挥发物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
  Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
  Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
  Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
  Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
    Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
 零件号
Wafergard III NF Micro XL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WG3NS8RR2 1/4" 垫圈密封件（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，接头用塑料盖代替金属盖保护 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封垫圈（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）