China Hi-Tech Service Bulletin

MIDAS-T-NP1 热裂解器安装指导说明

1，Midas-T-NP1 裂解器可以探测的气体和 Sensor 类型

 

 Midas-T-NP1 裂解器对本体版本要求：软件版本不低于 V1.10；不正确的 Sensor 类型和本体

软件版本，不能启动 NP1，将会报故障 F90。

2，Midas-T-NP1 裂解器安装要求及典型问题

 过滤器：NF3 必须安装氟利昂过滤器（1830-0027），其他气体不能安装氟利昂过滤器。 

所有气体都强烈建议安装灰尘过滤器（780248）。

 Midas-T-NP1 裂解器安装完成后，用转子气体流量计在过滤器（如有）下端检查流量，标准

为 500sccm；裂解器刚启动时，通过网页确认流经裂解器加热元器件的流量（55-120sccm)；待

裂解器稳定运行时（320 ̊C±25 ̊C）,再次确认流经裂解器加热元器件的流量（最佳值 75sccm,范

围：55-120sccm，超出此范围将报 F92），裂解器温度和流量都在范围之内，无故障出现，NP1

即可正常工作。

 典型问题：

 a. 转子流量计没有流量：检查整个气路的气密性，重新安装裂解器，注意进气管是否自然垂

直，有无扭曲。

 b. 转子流量计流量低：进行流量标定，如果标定不成功，检查本体的泵能力，更换泵或本

体。

 c. 裂解器达到额定工作温度时，本体或流经裂解器的流量不稳定，通过流量标定来调节稳

定。

3，Midas 探测器流量标定

 流量标定步骤：

a. 常按上下键后选择进入 CAL 菜单；

b. 打勾进入选择 Flow，打勾确认进入零点标定；

c. 成功后进入 500sccm 标定，根据外部流量计通过上下键调节实际流量到 500sccm；

d. 重复步骤 3 标定第二点（600/650sccm).

e. 完成流量标定后退出，进入监控模式。

 

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 图一 流量标定步骤示意图

 图二 流量检查示意图

图三 裂解器流量和温度信息（一） 图四 裂解器流量和温度信息（二）

 

4, 流经裂解器流量调节

 流经裂解器加热元器件的流量不在范围之内(55-120sscm)：通过裂解器标签下面的流量调节螺

丝来调节流经裂解器的流量（参考网页上显示的裂解器流量，本体默认 IP:169.254.60.47,工具

BULLETIN NUMBER: 2018-001 1/25/2018

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为 2.5mm 的内六角扳手）

 a, 确认 F92 是由流量原因引起的，网页上裂解器流量不在 55-120sccm 范围内，Midas 本体的

Event History 内 F92 的 Data 是 0x1000。

 b, 撕开 NP1 裂解器的标签，发现如图五的内六角螺丝，此螺丝即为裂解器流量调节螺丝。

 c, 打开 Midas 网页，在裂解器达到稳定工作温度时（320 ̊C±25 ̊C），观察流经裂解器的流

量；如果裂解器的流量低（低于 55sccm）如图六，顺时针调节内六角螺丝增大流量，直到稳定

的流量达到 75-100sccm；如果裂解器的流量高（高于 120sccm）如图七，逆时针调节内六角螺

丝减小流量，直到稳定的流量达到 75-100sccm 如图八；然后复位 F92 故障。

 d, 如果裂解器温度不能上升，直接按照步骤 c 顺时针调节内六角螺丝增大流量，直到稳定的

流量达到 75-100sccm。

 e, 如果调节内六角螺丝不能使流经裂解器的流量在 55-120sccm 范围内，请把 NP1 裂解器寄

给 Honeywell 检查。