气体过滤与净化

在空气、散装气体或特种气体的过滤和净化方面，Entegris 拥有满足您需求的专业知识、技术和解决方案。

无论是使用点还是散装气体输送、在腔室中还是在晶圆上、在洁净室中还是在工具上，Entegris 长期以来一直致力于提供高性能气体和空气净化及过滤产品来满足您的需求。

 

特色象形图

隐藏在众目睽睽之下：提高气体纯度和减少晶圆缺陷的预防性维护策略
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AMC 过滤器洁净室、扫描仪和工艺工具化学空气过滤器
气体过滤器利用镍、不锈钢和 PTFE 膜技术控制气体工艺中的污染
气体扩散器快速排放到大气中，无需向腔室中添加颗粒
气体净化器有多种材料可将气体净化至万亿分之一 (ppt) 的水平
PS14 常温气体净化器
气体净化器户外外壳 

 气体过滤器

镍、不锈钢、Alloy-22 和 PTFE 过滤技术。Entegris 超纯气体过滤产品为超纯气体应用提供 0.0015 微米颗粒过滤。 Wafergard 气体过滤器可提高工艺气体吞吐量，同时减少气体箱的总体占地面积。

 

特色内容

端到端气体过滤解决方案
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其他气体过滤器Wafergard GN 气体过滤枪是一种易于使用的轻型 POU（使用点）解决方案，用于控制气体污染。该过滤器元件采用 Entegris 独家设计，用于各种半导体工艺。
在线 PTFE 气体过滤器我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤功能，最大限度地减少压降并最大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard 和 Linegard 在线气体过滤器中进行选择。
在线不锈钢气体过滤器Entegris 的在线不锈钢气体过滤器设计用于高压和高温应用。它们易于安装，无需更改设计。
在线镍气过滤器Entegris 的超纯镍过滤器是适用于高压、高温应用的最清洁、最高效的气体过滤产品。

表面贴装气体过滤器Wafergard 气体过滤器配有不锈钢或镍过滤元件，可提供终极的过程保护、卓越的耐腐蚀性以及与惰性气体、氢化物和活性气体的出色兼容性。

表面安装设计减少了燃气面板上的空间，并减少了零件库存和变化。我们的表面安装气体过滤器产品组合包括 C-Seal 1.125" 和 W-Seal 1.125" 或 1.5" 格式。 

 在线 PTFE 气体过滤器
用于在低温应用中去除超纯颗粒的聚合物膜气体过滤器
我们的气体过滤器提供卓越的颗粒过滤功能，最大限度地减少压降并最大限度地延长过滤器的使用寿命。从 Wafergard 和 Linegard 在线气体过滤器中进行选择。 

 气体扩散器
快速排放到大气中，无需向腔室中添加颗粒Entegris 气体扩散器与大多数系统设计兼容，可轻松安装或改装到负载锁定室、冷却室、传输室和处理室中。
特色白皮书

污染物保龄球：气体净化的新科学
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Chambergard 气体扩散器Chambergard 快速排气扩散器可快速向大气排气，而不会干扰腔室中的晶圆或向腔室中的晶圆添加颗粒，

从而通过最大限度地缩短负载锁定排气循环时间来提高系统吞吐量。它们将扩散器的流动特性与高效过滤器相结合，以提高效率和吞吐量。 

 Wafergard MAX HT 在线气体过滤器
在高温应用（高达 200°C）中提供卓越的颗粒过滤

行业
半导体
 
平板显示器
 
数据存储
 
引领

 添加比较
Wafergard MAX 在线 PTFE 气体过滤器
这些在线 PTFE 气体过滤器与高纯气体兼容，并在超纯气体应用以及一般氮气和 CDA 应用中提供卓越的颗粒过滤能力



 添加比较
Wafergard MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器
Wafergard MAX-1000 在线 PTFE 气体过滤器为超纯气体应用提供卓越的颗粒过滤能力
配件尺寸
1/2"
配件类型
垫圈密封（兼容 VCR）
 
外螺纹入口/出口
 
压缩密封（兼容 Swagelok）
 
外螺纹入口/出口
长度
127.0 毫米（5.00 英寸）
 
118.7 毫米（4.67 英寸）


 添加比较
Wafergard GTL 在线气体过滤器
Wafergard GTL 在线气体过滤器设计用于去除惰性气体中的颗粒，流速高达 80 slpm
配件尺寸

 
56.6 psid) @ 20°C

 添加比较
Linegard MAX-FP 气体过滤器
适用于中等流量范围、非关键应用的经济高效的 0.0015 µm 过滤器


  

EntegrisWG3D40DR2

Entegris WG3D40DR2

ENTEGRIS WGMXMPRR2

Entegris WGFG21KP0

ENTEGRIS WGPM0GGG2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGMXMBSS2

ENTEGRIS LGMXFPSS3

ENTEGRIS WGMXMSRR4

Entegris WG2FT1RR2

ENTEGRIS WGFG01DS0

ENTEGRIS SVEG01P01

ENTEGRIS SVTG01TQ1

ENTEGRIS SVTG02TQ1

ENTEGRIS WGPM0GGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4

Entegris WG3NS6RR2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WG3NS2RR4

Entegris WG2FT1SS2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

Entegris WG2FT1RR2

entegris CTFG01TPE

ENTEGRIS WGPMOGGT4

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR2

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1

ENTEGRIS WG3NS8RR2

ENTEGRIS CBUG0S0S1

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGMXMSRR4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（无包装）

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRISWGMXMSRR2

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RGCG01P01，RGCG01PLT，RGCG02P01，RGCG03P01，RGCG0SP01，RGCV01P01，RGCV01PLT，RGCV02P01，RGCV03P01，RGCV0SP01，RGCZ01P01，RGCZ01PLT，RGCZ02P01，RGCZ03P01，RGCZ0SP01，RGDGHPS0F，RGDGHPX0F，RGDGHPXTH，RGDVHPS0F，RGDVHPX0F，RGDVHPXTH，RGDZHPS0F，RGDZHPX0F，RGDZHPXTH，TGCGATX01，TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，TGDGATXLH，TGDGATXTF，TGDGATXTH，TGDGATXTW，WDFA40W0A，WDFA40W0F，WDFA40W1F，WDFA40W2F，WDFA80PTF，WDFA80W0A，WDFA80W0F，WDFA80W2F，WDFG40PSF，WDFG40PTF，WDFG40PTW，WDFG40W0A，WDFG40W0F，WDFG40W1F，WDFG40W2F，WDFG80PSF，WDFG80PTF，WDFG80PTW，WDFG80W0A，WDFG80W0F，WDFG80W2F，WDFGATX0F，WDFV40PSF，WDFV40PTF，WDFV40PTW，WDFV40W0A，WDFV40W0F，WDFV40W1F，WDFV40W2F，WDFV80PSF，WDFV80PTF，WDFV80PTW，WDFV80W0A，WDFV80W0F，WDFV80W1F，WDFV80W2F，WDFVATX0F，WDFVATX2F，WDFZ40PTF，WDFZ40W0A，WDFZ40W0F，WDFZ40W1F，WDFZ40W2F，WDFZ80PTF，WDFZ80W0F，WDFZ80W1F，WDFZ80W2F，WDFZATX0F，WDFZATX2F，WDPM0CP0F，WDPM0CP4F，WDPM0CPSF，WGFA40P01，WGFA80P01，WGFG06D31，WGFG40P01，WGFG80P01，WGFV40P01，WGFV80P01，WGFZ40P01，WGFZ80P01，YY361010A，YY361014U，YY3610170，YY3610180，YY3610190，YY3610E0A，YY3610E4U，YY361210A，YY3612170，YY362210A，YY362214U，YY3622170，YY3622190，YY36HA20A，YY36HA24U，YY4010102，YY4010104，YY4010106，YY4010108，YY40101A0，YY4110104，YY4110106，YY411010A，YY411010B，YY411010L，YY411014B，YY4110160，YY4110170，YY41101AL，YY411210A，YY411210B，YY411214B，YY4112160，YY4112170，YY412210A，YY412210B，YY412214B，YY4122160，YY4122170，YY41HA20A，YY41HB20B，YY41HB20L，YY41HB24B，YY4510102，YY4510104，YY4510106，YY4510108，YY4510140，YY4510180，YY4510190，YY45101A0，YY45S01B0，YY4600001，YY4600002，YY4610102，YY4610108，YY461010A，YY461010B，YY461010F，YY461014B，YY4610160，YY4610170，YY4610180，YY4610190，YY46101NB，YY461030A，YY461034T，YY4610U0K，YY461204B，YY461210A，YY461210B，YY461210F，YY461214B，YY4612160，YY4612170，YY4612180，YY461230A，YY461234T，YY4612U0K，YY462010B，YY4620180，YY462200B，YY462204L，YY462210A，YY462210B，YY462210F，YY462214B，YY4622160，YY4622170，YY4622180，YY4622190，YY4622191，YY462234T，YY4622U0K，YY46B1F0F，YY46H000B，YY46H1F0F，YY464411F0F，YY46HA20A，YY46HA30A，YY46HA34T

 

 

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CHUV0L0S1，CHUV0S0P1，CHUV0S0S1，CHUV16EL1，CHUV16KL1，CHUV2L0P1，CHUV3L0P1，CHUV3L0S1，CHUV40EL1，CHUV40EM1，CHUV40KL1，CHUV40KM1，CHUV6S0P1，CHUV8L0P1，CHUV8S0P1，CHUZ0L0S1，CHUZ0S0P1，CHUZ0S0S1，CHUZ16EL1，CHUZ16KL1，CHUZ2L0P1，CHUZ3L0P1，CHUZ3L0S1，CHUZ40EL1，CHUZ40EM1，CHUZ40KL1，CHUZ40KM1，CHUZ6S0P1，CHUZ8L0P1，CHUZ8S0P1，CW00NU301，CW00NUS01，CW00PT301，CW00PTS01，CW00PTS31，CWAG0L0S1，CWAG0S0S1，CWAG0S1S3，CWAG160L1，CWAG16EL1，CWAG16KL1，CWAG3L0S1，CWAG400L1，CWAG40EL1，CWAG40EM1，CWAG40KL1，CWAG40KM1，CWAG8S1P1，CWAV0L0S1，CWAV0S0S1，CWAV0S1S3，CWAV160L1，CWAV16EL1，CWAV16KL1，CWAV3L0S1，CWAV400L1，CWAV40EL1，CWAV40EM1，CWAV40KL1，CWAV8S1P1，CWAZ0L0S1，CWAZ0S0S1，CWAZ0S1S3，CWAZ160L1，CWAZ16EL1，CWAZ16KL1，CWAZ3L0S1，CWAZ400L1，CWAZ40EL1，CWAZ40KL1，CWAZ40TL1，CWAZ8S1P1，CWUG00EL1，CWUG00PL1，CWUG0S0P1，CWUG0S0S1，CWUG0S0S3，CWUG0S1S3，CWUG160L1，CWUG16EL2，CWUG16EP2，CWUG16KL2，CWUG16PP2，CWUG2L0P1，CWUG3L0P1，CWUG3L0S1，CWUG40EL1，CWUG40EM1，CWUG40EP1，CWUG40KL1，CWUG40KM1，CWUG40TL1，CWUG6S0P1，CWUG8L0P1，CWUG8S0P1，CWUH16KL2，CWUV00PL1，CWUV0S0P1，CWUV0S0S1，CWUV0S0S3，CWUV0S1S3，CWUV160L1，CWUV16EL2，CWUV16EP2，CWUV16KL2，CWUV16PP2，CWUV3L0P1，CWUV3L0S1，CWUV400L1，CWUV40EL1，CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，CWUZ0S0P1，CWUZ0S0S1，CWUZ0S0S3，CWUZ0S1S3，CWUZ160L1，CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，DZUPC21K1，DZUV016K2，DZUV040K1，DZUVA4401，DZUZA4401，PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，WGFG16D21，

 

 

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W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，WCDI0UB00，WCDI0UC00，WCDP000H1，WCDP025H1，WCDP025L1，WCDP050H1，WCDP050L1，WCDP100H1，WCDP100L1，WCDPC25T4，WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，WCDS000F2，WCDS000F3，WCDS000F4，WCDS000P1，WCDS000P3，WCDS008K3，WCDS010ED，WCDS020K3，WCDS021ED，WCDS024ED，WCDS025ED，WCDS039K1，WCDS042E0，WCDS049E0，WCDS10010，WCDS118ED，WCDS12510，WCDS15010，WCDS158E0，WCDS1SP01，WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，WCDS2S006，WCDS2S007，WCDS2S008，WCDS2S009，WCDS2S010，WCDS2S012，WCDS2S021，WCDS2S022，WCDS2S023，WCDS2S031，WCDS2S032，WCDS2S033，WCDSA13T0，WCDSA25T0，WCDSB13F0，WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，WGEN2S002，WGEN2S003，WGEN2S004，WGEN2S005，WGEN2S006，WGEN2S007，WGEN2S008，WGEN2S009，WGEN2S010，WGEN2S011，WGEN2S012，WGEN2S013，