这些气体过滤器推荐用于惰性气体和反应性气体，与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性，并且易于安装在狭窄的气体面板和机柜中。 

PTFE 膜提供高效过滤
低压降降低了在较低蒸气压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性和反应性气体，包括臭氧
应用
Wafergard II F 微型在线气体过滤器应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
气柜和面板
超纯气体系统
内部流程工具
产品规格
材料
  滤芯
  由模压 PFA 结构支撑的疏水 PTFE 膜
住房 电抛光 VAR 316L 不锈钢
下游清洁度  小于 0.03 个颗粒/升 (<1 个颗粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm 
挥发物<10 ppb 水分
移除等级 ≥0.0015 µm
表面处理内部 ≤7 µin Ra
氦泄漏等级 合格的 2 × 10 -10毫升/秒
经过测试 1 × 10 -9毫升/秒
运行条件 最大入口压力 207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向压差 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
最大反向压差 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
 
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留
  大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有颗粒（参考最具穿透性的颗粒尺寸）
流量等级 参考性能数据
零件号
Wafergard II F 微型在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度 应用
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）公入口/母出口 88.9 毫米（3.50 英寸） 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫片密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封（与世伟洛克接头兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半导体

品牌简介：50多年来，Entegris的日常使命一直是帮助客户利用他们先进的基于科学的解决方案来支持需求驱动程序。更快，更有效地进行创新;并最终改变世界。通过他们的解决方案和技术专长的力量，Entegris为客户提供基于科学的创新解决方案，以应对严峻的技术挑战。Entegris的总部位于马萨诸塞州的比勒里卡，在全球拥有大约5100名员工，大约一半在亚太地区或欧洲工作。通过在亚太地区，北美和欧洲的研发，客户服务，分析实验室和制造，Entegris在将技术提升到更高水平时为全球客户提供支持。美国ENTEGRIS主要产品包括：Entegris压力传感器、Entegris滤波器、Entegris射频模块、Entegris螺母、Entegris软管、Entegris压力调节器、气体扩散器、Entegris气体过滤器等。1230工业商城优势供应ENTEGRIS,美国ENTEGRIS过滤器,ENTEGRIS气动隔膜阀全系列产品，大量库存，100%原装正品，价格优惠…

一、美国ENTEGRIS公司简介
美国ENTEGRIS作为先进材料科学领域的全球领导者，他们拥有帮助解决您先进的技术挑战的专业知识和决心。50多年来，每天，他们的唯一使命就是帮助客户利用他们先进的，基于科学的解决方案来支持更安全的工作场所;更快，更有效地进行创新;并最终改变世界。通过他们的技术专长和强大的员工文化，他们提供基于科学的解决方案，以帮助您应对先进的制造挑战。

美国ENTEGRIS50多年来，Entegris一直致力于开发纯净的产品，使您获得大收益。Entegris纯粹的热情使制造商能够制造更小更快的微芯片，消除药物制造中昂贵的钝化步骤，甚至提高飞机发动机的热力学效率。凭借广泛的产品，先进的制造能力，全球基础设施和无与伦比的技术专长，他们纯粹的激情是您的优势。因为快速创新至关重要。质量至关重要。协作是关键。在一起，他们可以解决您先进的技术挑战。

二、美国ENTEGRIS部分产品介绍
1、美国ENTEGRIS H20系列刀片
①他们的嵌件套在H20裸模托盘和盖之间，提供更柔软的表面，可在运输过程中保护敏感组件
②提供多种材料以满足您的应用需求
③预切成托盘尺寸，易于安装
④以1,000件的包装形式出售
⑤插入件无意限制零件的迁移
⑥长时间存放设备时，不建议使用带有抗静电涂层的插件

2、美国ENTEGRIS WafergardII SF半在线气体过滤器
①当首选所有不锈钢结构时，WafergardII SF半在线气体过滤器是高纯度气体系统的首选过滤器。
②先进的外壳组件通过小化焊接面积消除了脱气现象。
③全金属结构是高温和动态压力应用的理想选择。
④其紧凑的尺寸和灵活的配件选择可提供高的设计效率，并大程度地降低工程成本。

3、美国ENTEGRIS Gasketgard在线垫片过滤器
①Gasketgard直列式垫片过滤器是一种紧凑的全金属过滤器，可代替标准的1/4“，3/8”和1/2“VCR垫片
②固定器，易于对准
③专为轻松插入标准气体管线而设计
④高压和高温应用的理想选择
⑤保护关键组件免受微粒伤害
⑥在世界一流的，ISO认证的工厂中制造
 
三、美国ENTEGRIS主要产品和型号
1、美国ENTEGRIS主要产品
①美国ENTEGRIS过滤器
②美国ENTEGRIS气动隔膜阀
③美国ENTEGRIS滤芯

2、美国ENTEGRIS产品型号
①Gasketgard在线垫片过滤器
②H93801011116、201-42、6501-T7-F04-AM6-D-P1-U1
③Entegris PHX03U00F
④Entegris三通阀气动阀D8-3C-8S2
⑤Entegris阀CR8-2M-12FF-3
⑥Entegris三通阀SV8-3C-8F 3/2 valve

⑦Entegris三通二位气动阀UPM3-F1212 V1

⑧Entegris CR8系列手动阀CR8-2M-12F8P

MRO商城--1230SHOP常备英特格型号：

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISXX67000WH过滤器

ENTEGRISWGGB01KAN气体过滤器

ENTEGRISWGFG01KL0过滤器

EntegrisWGFGT1PR1过滤器

EntegrisWGFGMBRR4

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISYY260103P滤壳

ENTEGRISPN2H010E1滤芯

EntegrisWGMXMBRR4过滤器

EntegrisWGFG02PR1过滤器

EntegrisWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀

ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器

EntegrisWGPM0GGT4过滤器

EntegrisWG2SS8RR2过滤器

EntegrisWG3NS6RR2过滤器

ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3阀

ENTEGRISYY260103P滤壳

ENTEGRISPN2H010E1滤芯

ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器

ENTEGRISXX67000WH过滤器

ENTEGRISWGGB01KAN过滤器

ENTEGRISWGFG01KL0过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3侦测器

EntegrisWG2SS8RR2过滤器

EntegrisWG3NS6RR2过滤器

ENTEGRISWG3NS1RR2过滤器

ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISYY260103N过滤器

EntegrisCR4-2C-6F-3气动阀

ENTEGRISWGPMOGGT4过滤器

EntegrisWG2FT1SS2过滤器

ENTEGRISWGFG01DS0（一包十个）滤芯

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRIS CTFV01P01KPW滤芯

ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331气动阀

ENTEGRISWG3NS2RR4过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器

EntegrisCWFV0S1S3滤芯

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR4过滤器

ENTEGRISDS12-2C-16F-3气动阀

ENTEGRISWGMXMSRR4过滤器

ENTEGRISCN2501E6滤芯

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

EntegrisWGPM0GGG2过滤器

entegrisWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWG2SS8RR2过滤器

ENTEGRISCN2501E6滤芯

EntegrisSVTH01TQ1过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISCN2501E06滤芯

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFG50PR1过滤器

ENTEGRISWGFG01DSH过滤器

ENTEGRISPLMV-K12阀

ENTEGRISPLMV-K04阀

ENTEGRISPLMV-K16阀

ENTEGRISPLPV-K04阀

ENTEGRISPLPV-K08阀

ENTEGRISPLPV-K12阀

ENTEGRISPLPV-K16阀

ENTEGRISWG2F02RR2

ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3气动阀

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

EntegrisYY5032PS1过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGMXMBRR2

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

entegrisWGFGT1PR1过滤器

EntegrisYY5032PS1

EntegrisWGFG21KP0

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

EntegrisWG2FT1RR2过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFG01DS0过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISWGFGMBRR4过滤器

ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISLGMXFPRR4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

EntegrisWGFG21KP0

EntegrisWG2SS8RR2过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPM0GGT4过滤器

ENTEGRISWGFGT1PR1过滤器

ENTEGRISWGPM0GGG2过滤器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGPMOGGT2

EntegrisWG2FT1RR2过滤器