Wafergard GTL 在线气体过滤器
Wafergard GTL 在线气体过滤器设计用于去除惰性气体中的颗粒，流速高达 60 slpm
合身尺寸
遥控 1/4" 1/4"
配件类型
PT女 NPT 内螺纹
长度
101 毫米（4.0 英寸）
最大工作压力
0.41 兆帕（4.1 巴 56.6 psid）@ 20°C
Wafergard GTL 在线气体过滤器
以高达 60 slpm 的流速可靠地去除惰性气体中的颗粒。

提供高效、低成本、使用点的惰性气体过滤
>99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 µm 的颗粒
应用
Wafergard GTL 在线气体过滤器应用
低进气过滤器
晶圆输送系统
清洁干燥空气 (CDA)
产品规格
材料 膜： 疏水性氟聚合物 PTFE
  支架、外壳： 聚砜
推荐流量 60 升/分钟
连接 Rc1⁄4（PT1⁄4 内螺纹），1⁄4” NPT 内螺纹
膜面积 25 厘米2 (3.9 英寸2 )
颗粒保留 >99.9999999% 去除所有直径大于 0.0015 μm 的颗粒（在最具穿透性的颗粒尺寸下验证）
运行条件 最大工作压力： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
  最大正向压差： 0.41 MPa (4.1 bar, 56.6 psid) 在 20°C
  最大反向压差： 0.03 MPa (0.3 bar, 4.35 psid) 在 20°C
  最高工作温度： 50°C (122°F)
方面 直径： 25 毫米（0.98 英寸）
  长度： 101 毫米（4.0 英寸）
零件号
Wafergard GTL 在线气体过滤器部件号
零件号 接头尺寸和类型 长度
WGFG01DSH RC 1/4（PT1/4 母头） 101 毫米（4.0 英寸）
WGFG01DSO 1/4" NPT（内螺纹） 101 毫米（4.0 英寸）