GPU Purifiers condition  操作流程

做以下操作之前请先确保GPU Purifier及相关管路均已通过检漏

1.  做GPU Purifier condition  需要在后段不用气的情况下操作;

2.  将旁路,进气,出气阀门全部关闭;

3.  慢慢打开进气阀门（打开一点点就好，能听见有一点气体流过来即可，H2/NH3/HCL等气体）;

4.  听见有一点点气体流进纯化器中即可，通入大约0.5-1分钟左右的H2/NH3/HCL（注意此时要用手不停的摸GPU Purifier瓶身外部的温度，

因为通入H2/NH3/HCL  时纯化器表面温度会升高，如果用手摸感觉到烫手，那么就说明阀门开启过大，流入的H2/NH3/HCL气体量过大所致，一般用手能感觉到有发热即可,

切勿为了节省时间而将阀门太的过大导致温度过高）;

5.  关闭进气阀门;

6.  打开出气阀门，将纯化器中的气体排掉，大约排2分钟即可;

7.  重复3---6  步，至少要做25  到30  次即可;在整个过程中,  GPU  Purifier  瓶身温度可以用手感觉到靠近进气端温度先升高,

陆续到出气端口温度升高.(特别小的GPU Purifier 和百分比比较低的气体可能感觉不到温度变化)

8.以上步骤做完以后，可以再把进出口阀都打开一小部分，让工艺气体flow一会（瓶身温度不再升高或者在室温状态下说明整个condition过程已完成）；