应用程序
Wafergard II F 微型在线气体过滤器 应用
生命科学应用
臭氧应用（气体）
燃气柜和面板
超纯气体系统
内部工艺工具 

产品规格

材料

  过滤元件

  疏水性PTFE膜由模压PFA结构支撑

住房 电抛光VAR 316L不锈钢

下游清洁度 少于0.03颗粒/升（<1颗粒/英尺3）大于0.01 µm 

挥发物 <10 ppb 水分

去除率 ≥0.0015 微米

表面处理内部 ≤7 µin Ra

氦气泄漏等级 合格 2 × 10-10 立方厘米/秒

测试通过 1 × 10-9 立方厘米/秒

操作条件 最大入口压力 207 巴 (3000 磅/平方英寸) @ 23°C (73°F)

最大正向差压 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)

最大反向差压 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)

最高工作温度 120°C (248°F)

颗粒保留

  99.9999999%（9个低穿透率颗粒）去除所有颗粒 @ 30 slpm（参考最穿透颗粒尺寸）

流量评级参考性能数据

 零件编号
Wafergard II F 微型在线气体过滤器 部件编号
零件编号 适配尺寸和类型 长度 申请
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米 (3.54英寸) 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫密封 (兼容VCR接头) 阳口进/阴口出 88.9 毫米 (3.50英寸) 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 84.1 毫米（3.31英寸） 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫片密封（兼容VCR接头）阳口入口/出口 84.1 毫米（3.31英寸） 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封（兼容Swagelok接头） 73.7 毫米 (2.90英寸) 半导体

  

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