Wafergard
II F 微型在线气体过滤器
推荐用于惰性和反应性气体,这些气体过滤器与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性,并且易于在狭窄的气体面板和柜子中安装。
PTFE 膜提供高效过滤
低压降减少了低蒸汽压气体中冷凝的风险
与所有类别的半导体工艺气体具有出色的兼容性
用于惰性气体和反应性气体,包括臭氧

应用程序
Wafergard

II F 微型在线气体过滤器 应用
生命科学应用
臭氧应用(气体)
燃气柜和面板
超纯气体系统
内部工艺工具
产品规格
材料
过滤元件
疏水性PTFE膜由模压PFA结构支撑
住房 电抛光VAR 316L不锈钢
下游清洁度 少于0.03颗粒/升(<1颗粒/英尺3)大于0.01 µm
挥发物 <10 ppb 水分
去除率 ≥0.0015 微米
表面处理内部 ≤7 µin Ra
氦气泄漏等级 合格 2 × 10-10 立方厘米/秒
测试通过 1 × 10-9 立方厘米/秒
操作条件 最大入口压力 207 巴 (3000 磅/平方英寸) @ 23°C (73°F)
最大正向差压 4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
最大反向差压 0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
最高工作温度 120°C (248°F)
颗粒保留
99.9999999%(9个低穿透率颗粒)去除所有颗粒 @ 30 slpm(参考最穿透颗粒尺寸)
流量评级参考性能数据
零件编号
Wafergard

II F 微型在线气体过滤器 部件编号
零件编号 适配尺寸和类型 长度 申请
WG2FT1BW2 1/4" 对焊管 89.9 毫米 (3.54英寸) 半导体
WG2FT1RF2 1/4" 垫密封 (兼容VCR接头) 阳口进/阴口出 88.9 毫米 (3.50英寸) 半导体
WG2FT1RR2 1/4" 垫片密封(兼容VCR接头)阳口入口/出口 84.1 毫米(3.31英寸) 半导体
WG2FT1RR2L 1/4" 垫片密封(兼容VCR接头)阳口入口/出口 84.1 毫米(3.31英寸) 生命科学
WG2FT1SS2 1/4" 压缩密封(兼容Swagelok接头) 73.7 毫米 (2.90英寸) 半导体

ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS GPUS35FWX04R00CA 纯化器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
Entegris WGFG02PS1 过滤器
ENTEGRIS WG2F40RR3
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
Entegris WG3D40DR2 过滤器
Entegris WG3D40DR2 过滤器
ENTEGRIS WGMXMPRR2
ENTEGRIS WGMXMBSS2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPSS3
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGFG01DS0 过滤器
ENTEGRIS SVEG01P01
ENTEGRIS SVTG01TQ1
ENTEGRIS SVTG02TQ1
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPM0GGT2 过滤器
ENTEGRIS LGMXFPRR4
Entegris WG2FT1SS2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 过滤器
ENTEGRIS WG2F02RR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WG3NS8RR2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 气体过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 过滤器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS WGMXMSRR2